特許
J-GLOBAL ID:200903020106595751
液晶装置、その製造装置及び製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
上柳 雅誉 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-233546
公開番号(公開出願番号):特開2003-043491
出願日: 2001年08月01日
公開日(公表日): 2003年02月13日
要約:
【要約】【課題】 ラビング密度を一定にして配向規制力にムラが生じることを防止する。【解決手段】 ラビング処理時におけるラビングロール112のラビングロール温度Trに応じてラビング条件を可変制御するコントローラ124を設ける。コントローラ124は、所望のラビング密度RSに応じて、ロール回転数f、ロール押し込み量M、及び環境温度Tを所定の固定値に制御する。さらに、コントローラ124は、各ラビング位置Xにおけるラビングロール温度Trに応じて送り速度Vを可変制御することにより、ラビングロール温度Trが摩擦熱の発生及び滞留等によって変化した場合にも、配向膜に対して均一なラビング密度RSでラビング処理を行う。
請求項(抜粋):
ステージ上に載置された液晶基板上に形成された配向膜を擦ってラビング処理を行うためのラビング布が取り付けられたラビングロールと、ラビング処理時における上記液晶基板或いは上記ラビングロール少なくとも一方の温度変化に応じてラビング条件を可変制御するラビング制御手段と、を具備したことを特徴とする液晶装置の製造装置。
IPC (2件):
G02F 1/1337 500
, B24B 29/00
FI (3件):
G02F 1/1337 500
, B24B 29/00 E
, B24B 29/00 N
Fターム (18件):
2H090JC18
, 2H090JD17
, 2H090LA04
, 2H090MA04
, 2H090MB02
, 2H090MB03
, 2H090MB05
, 2H090MB13
, 2H090MB14
, 3C058AA06
, 3C058AC02
, 3C058BA01
, 3C058BA08
, 3C058BB02
, 3C058BC01
, 3C058BC02
, 3C058CA01
, 3C058CB01
引用特許:
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