特許
J-GLOBAL ID：200903020149324697

基板温度制御機構

発明者：
梨本 清

梨本 清 について

, 
佐長谷 肇

佐長谷 肇 について

, 
高橋 信行

高橋 信行 について


出願人/特許権者：
アネルバ株式会社

アネルバ株式会社 について


代理人 (1件)： 保立 浩一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-286139
公開番号（公開出願番号）：特開平10-116885
出願日： 1996年10月08日
公開日（公表日）： 1998年05月06日
要約：
【要約】【課題】 ヒータの他に別途特別な構成を基板ホルダー内に必要とすることなく基板温度がモニタでき、基板の温度分布をリアルタイムで容易にモニタできるようにする。【解決手段】 面接触して基板20を保持する基板ホルダー21内には、複数の加熱ブロック221,222からなり抵抗発熱方式のヒータ22が設けられている。ヒータ22の温度をモニタするモニタ手段23は、電流電圧検出器231,232と演算器233とから構成され、ヒータ22の抵抗値を求めてヒータ22の温度を算出する。各加熱用ブロック221,222の温度のデータから基板20の温度分布がモニタされる。
請求項（抜粋）：
基板に対して面接触して基板を保持する基板ホルダーと、電気エネルギーを熱エネルギーに変換して基板を加熱するものであって基板ホルダー内に設けられたヒータと、ヒータに対して電力を供給する電源とを具備した基板温度制御機構において、ヒータの電気特性からヒータの温度を算出して間接的に基板の温度をモニタするモニタ手段を備えていることを特徴とする基板温度制御機構。
IPC (4件)：
H01L 21/68 ,  F27B 5/14 ,  F27B 5/18 ,  H01L 21/205
FI (4件)：
H01L 21/68 N ,  F27B 5/14 ,  F27B 5/18 ,  H01L 21/205
引用特許：
審査官引用 (4件)
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