特許
J-GLOBAL ID:200903020336211758

質量分析装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小林 良平
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-234615
公開番号(公開出願番号):特開2001-060447
出願日: 1999年08月20日
公開日(公表日): 2001年03月06日
要約:
【要約】【課題】 高いイオン通過効率を維持しつつイオンガイドの構造を簡単にする。【解決手段】 円柱形状のロッド電極171、172から成るイオンガイド17の一端面をスキマー16の平坦部16cに近接して配置すると共に、スキマー16の円錐部16bの底面の直径d2をロッド電極の内接円の直径d1とほぼ同一又はそれよりも小さくする。これにより、差圧によってスキマー16のオリフィス16aを通過したあと広がりつつ進むイオンは、確実にロッド電極171、172で囲まれる空間に導入され、次段の分析室に送り込まれる。
請求項(抜粋):
高圧側のイオン化室で試料をイオン化し、頂部に小径の孔を設けた円錐形状のスキマーを通して差圧により低圧側の分析室にイオンを引き込む質量分析装置において、イオン光軸方向に延伸し、該イオン光軸の周囲に互いに分離して所定の円に外接するように配設された偶数本の円柱状電極から成る多重極イオンガイドを前記分析室内のスキマーの後方直近に設けると共に、該スキマーの円錐部の底面の径を前記イオンガイドの内接円の径よりも小さくしたことを特徴とする質量分析装置。
IPC (3件):
H01J 49/04 ,  G01N 27/62 ,  G01N 30/72
FI (3件):
H01J 49/04 ,  G01N 27/62 X ,  G01N 30/72 C
Fターム (6件):
5C038EE02 ,  5C038EF04 ,  5C038GG08 ,  5C038GH05 ,  5C038GH11 ,  5C038GH13
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (3件)
  • 特開平2-276147
  • 特開平2-276147
  • 特開平2-276147

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