酸化亜鉛薄膜の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：丸島儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-242707
公開番号（公開出願番号）：特開平11-080994
出願日： 1997年09月08日
公開日（公表日）： 1999年03月26日
要約：

【要約】【課題】導電性基板上に酸化亜鉛を、均一に、歩留りよく、長時間成膜可能な装置を提供すること。【解決手段】亜鉛イオン及び炭水化物を含有する水溶液中に導電性表面を有する基板及び対向電極を浸漬し、該基板及び対向電極間に電圧を印加することにより、該基板上に酸化亜鉛薄膜を形成する方法であって、該水溶液は複数の水溶液吹き出し口から噴出されることを特徴とする酸化亜鉛薄膜の製造方法とする。又、噴射する水溶液の方向、水量、温度、濃度を個別に制御する。

請求項（抜粋）：

亜鉛イオン及び炭水化物を含有する水溶液中に導電性表面を有する基板及び対向電極を浸漬し、該基板及び対向電極間に電圧を印加することにより該基板上に酸化亜鉛薄膜を形成する方法であって、該水溶液は複数の水溶液吹き出し口から噴出されることを特徴とする酸化亜鉛薄膜の製造方法。

IPC (2件)：

C25D 9/04 , H01L 31/04

FI (2件)：

C25D 9/04 , H01L 31/04 M

引用特許：

審査官引用 (4件)

酸化亜鉛膜作製用電解液
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-023775 出願人：大阪市, 奥野製薬工業株式会社
酸化亜鉛膜の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-067394 出願人：大阪市, 奥野製薬工業株式会社
特許第3327811号

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