特許
J-GLOBAL ID：200903020513447511

インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置

発明者：
松沢 明

松沢 明 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 栗原 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-321089
公開番号（公開出願番号）：特開2001-138511
出願日： 1999年11月11日
公開日（公表日）： 2001年05月22日
要約：
【要約】【課題】 膜形成技術により形成された圧電素子の外部環境の変化に起因する動作不良を密封雰囲気を形成することにより解消し、且つ当該密封雰囲気内の環境変化による不具合を解消するインクジェット式記録ヘッド及びその製造方法並びにインクジェット式記録装置を提供する。【解決手段】 ノズル開口21に連通する流路形成基板10に形成された圧力発生室12と、この圧力発生室12に対応する領域に振動板50を介して設けられた下電極60、該下電極60上に設けられた圧電体層70及び該圧電体層70の表面に設けられた上電極80からなる圧電素子300とを備えるインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記流路形成基板10上には、前記圧電素子300の周囲に空間部を形成する薄膜90を設ける。
請求項（抜粋）：
ノズル開口に連通する流路形成基板に形成された圧力発生室と、この圧力発生室に対応する領域に振動板を介して設けられた下電極、該下電極上に設けられた圧電体層及び該圧電体層の表面に設けられた上電極からなる圧電素子とを備えるインクジェット式記録ヘッドにおいて、前記流路形成基板上には、前記圧電素子の周囲に空間部を形成する薄膜を有することを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
IPC (3件)：
B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16
FI (2件)：
B41J 3/04 103 A ,  B41J 3/04 103 H
Fターム (12件)：
2C057AF24 ,  2C057AF65 ,  2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG44 ,  2C057AG92 ,  2C057AG93 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP52 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14
引用特許：
審査官引用 (4件)
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