特許
J-GLOBAL ID：200903020558591605

再使用型結晶種又は結晶核による配向単結晶成長方法

発明者：
ギュンター ヴェルハン

ギュンター ヴェルハン について


出願人/特許権者：
カール-ツァイス-スティフツング

カール-ツァイス-スティフツング について


代理人 (1件)： 浜本 忠 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-179175
公開番号（公開出願番号）：特開2003-104791
出願日： 2002年05月17日
公開日（公表日）： 2003年04月09日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】所望の所定配向を有する単結晶の製造の歩留まりを増大し、高価な結晶原料の損失を減少する。【解決手段】配向が均一な単結晶を製造する方法であって、次のステップを含んで成るもの:a)結晶の原料溶融体11を、一容器断面がその底部と側壁で決定される溶融体容器10にて生成するか、この溶融体容器に導入する、b)既に成長済みの単結晶の一部を切り離して結晶種13を形成する、ここで結晶種の寸法は、それを溶融体容器の底部に置いたとき上記容器断面を完全に覆うような寸法とする、c)上記結晶種を溶融体容器の底部に、成長させようとする単結晶の方向にこの結晶種が向くように置く、d)溶融体を結晶原料材料の溶融点以下にまで、上記結晶種の一面の側から緩やかに冷却し、均一な配向の単結晶が上記結晶種から成長するようにする。
請求項（抜粋）：
配向が均一な単結晶を製造する方法であって、次のステップを含んで成るもの:a)結晶の原料溶融体を、容器断面がその底部と側壁で決定される溶融体容器にて生成するか、この溶融体容器に導入すること、b)既に成長済みの単結晶の一部を切り離して結晶種を形成すること、ここで結晶種の寸法は、それを溶融体容器の底部に置いたとき上記容器断面を完全に覆うような寸法とすること、c)上記結晶種を溶融体容器の底部に、成長させようとする単結晶の方向にこの結晶種が向くように置くこと、d)溶融体を結晶原料材料の溶融点以下にまで、上記結晶種の一面の側から緩やかに冷却し、均一な配向の単結晶が上記結晶種から成長するようにすること。
IPC (6件)：
C30B 11/14 ,  C30B 11/00 ,  C30B 29/12 ,  G02B 1/02 ,  G03F 7/20 502 ,  H01L 21/027
FI (7件)：
C30B 11/14 ,  C30B 11/00 C ,  C30B 11/00 Z ,  C30B 29/12 ,  G02B 1/02 ,  G03F 7/20 502 ,  H01L 21/30 515 D
Fターム (21件)：
2H097BA10 ,  2H097CA13 ,  2H097EA01 ,  4G077AA02 ,  4G077AB04 ,  4G077AB09 ,  4G077BE02 ,  4G077CD02 ,  4G077CD04 ,  4G077EA05 ,  4G077EA06 ,  4G077ED01 ,  4G077ED02 ,  4G077EG01 ,  4G077MA01 ,  4G077MB04 ,  4G077MB08 ,  4G077MB35 ,  5F046CA04 ,  5F046CB10 ,  5F046CB12
引用特許：
審査官引用 (3件)

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