感放射線性樹脂組成物

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-220704
公開番号（公開出願番号）：特開平7-056333
出願日： 1993年08月12日
公開日（公表日）： 1995年03月03日
要約：

【要約】【構成】本発明の感放射線性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂、感放射線化合物及び溶剤を含有する感放射線性樹脂組成物において、前記溶剤が乳酸アルキルエステル及び炭素数7〜14のモノケトン化合物を含有してなる混合溶剤であることを特徴とする。【効果】本発明の感放射線性樹脂組成物によれば、感度、解像度等に優れた、特に大口径化された基板へのスピンコート法による塗布性に優れたポジ型レジスト組成物を得ることができる。従って、半導体集積回路の製造に好適に使用できる。

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂、感放射線化合物及び溶剤を含有する感放射線性樹脂組成物において、前記溶剤が乳酸アルキルエステル及び炭素数7〜14のモノケトン化合物を含有してなる混合溶剤であることを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/022 , G03F 7/004 501 , G03F 7/16 , H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭62-123444
特開昭62-123444
ポジ型レジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-316499 出願人：住友化学工業株式会社

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