特許

J-GLOBAL ID：200903020752922167

感放射線性樹脂組成物

発明者： 橋谷 龍紀 ,  西尾 寿浩 ,  宇高 友広 ,  遠藤 昌之
出願人/特許権者： ジェイエスアール株式会社
代理人 (1件)： 大井 正彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-211735
公開番号（公開出願番号）：特開平11-052560
出願日： 1997年08月06日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：

【要約】【課題】 高い感放射線性を有し、しかも、耐溶剤性、透明性に優れたパターン状薄膜を容易に形成することができる感放射線性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 (A)(a)不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物に由来する構成成分、(b)エポキシ基を有するラジカル重合性化合物に由来する構成成分、および(c)その他のオレフィン系不飽和化合物に由来する構成成分からなるアルカリ可溶性樹脂と、(B)1,2-キノンジアジド化合物と、(C)窒素含有架橋剤とが含有されてなることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

(A)(a)不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物に由来する構成成分、(b)エポキシ基を有するラジカル重合性化合物に由来する構成成分、および(c)その他のオレフィン系不飽和化合物に由来する構成成分からなるアルカリ可溶性樹脂と、(B)1,2-キノンジアジド化合物と、(C)窒素含有架橋剤とが含有されてなることを特徴とする感放射線性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/004 501 ,  G03F 7/022 601 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/027 515 ,  G03F 7/029 ,  H01L 21/027

FI (6件)：

G03F 7/004 501 ,  G03F 7/022 601 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/027 515 ,  G03F 7/029 ,  H01L 21/30 502 R

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 感放射線性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-350470   出願人：日本合成ゴム株式会社
• 感放射線性樹脂組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-065454   出願人：日本合成ゴム株式会社
• 段差基板用塗布溶液
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-296585   出願人：東ソー株式会社
• マイクロレンズ用感光性組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-135895   出願人：東ソー株式会社