特許
J-GLOBAL ID：200903020774650292

基板搬送装置及び基板搬送方法

発明者：
平田 賢輔

平田 賢輔 について

, 
水野 智夫

水野 智夫 について

, 
村山 晋

村山 晋 について


出願人/特許権者：
株式会社IHI

株式会社IHI について


代理人 (2件)： 志賀 正武 ,  渡邊 隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-245829
公開番号（公開出願番号）：特開2008-066661
出願日： 2006年09月11日
公開日（公表日）： 2008年03月21日
要約：
【課題】メインコンベヤ10と分岐コンベヤ20間における基板Pの受け渡し速度を向上させる。【解決手段】基板Pを枚葉搬送するメインコンベヤ10と、上記メインコンベヤ10に対して水平分岐する分岐コンベヤ20と、上記基板Pの進行方向に対する向きが変化しないように上記基板Pを水平に回動させながら、上記メインコンベヤ10から上記分岐コンベヤ20あるいは上記分岐コンベヤ20から上記メインコンベヤ10に上記基板Pの受け渡しを行う基板受渡部40と、を備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板を枚葉搬送するメインコンベヤと、 前記メインコンベヤに対して水平分岐する分岐コンベヤと、 前記基板の進行方向に対する向きが変化しないように前記基板を水平に回動させながら、前記メインコンベヤから前記分岐コンベヤあるいは前記分岐コンベヤから前記メインコンベヤに前記基板の受け渡しを行う基板受渡部と、 を備えることを特徴とする基板搬送装置。
IPC (3件)：
H01L 21/677 ,  B65G 47/53 ,  B65G 49/06
FI (3件)：
H01L21/68 A ,  B65G47/53 Z ,  B65G49/06 Z
Fターム (13件)：
3F016AA01 ,  3F016CD01 ,  3F016CE01 ,  3F016CG00 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA14 ,  5F031GA51 ,  5F031GA62 ,  5F031PA02
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (5件)
  • 搬送装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-418069   出願人：株式会社ダイフク
  • 基板処理装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-095025   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
  • 搬送アーム
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-290503   出願人：東京エレクトロン山梨株式会社
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