電気特性測定用プローブ及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡本啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-395830
公開番号（公開出願番号）：特開2005-156365
出願日： 2003年11月26日
公開日（公表日）： 2005年06月16日
要約：

【課題】狭ピッチのフルマトリクス型の電極パッドに対応できる電気特性測定用プローブを提供する。【解決手段】基体部と、基体部の一端から外側に延在する複数の端子部と、複数の端子部上から基体部上にそれぞれ延在する配線パターンと、端子部の先端部に形成され、配線パターンに接続されたコンタクト部とをそれぞれ含む複数のプローブ部品が組み立てられて構成された電気特性測定用プローブであり、複数の薄板状のプローブ部品が、それぞれの薄板面が互いに平行で、かつコンタクト部が同一方向を向くようにして配列され、複数のプローブ部品の間にスペーサがそれぞれ配置された状態で、複数のプローブ部品とスペーサとが固定手段により固定されていることを含む。【選択図】図13

請求項（抜粋）：

中央部に開口部が設けられ、半導体薄板と該半導体薄板を被覆する絶縁膜とより構成されたリング状の基体部と、前記基体部と同一材料で構成され、前記基体部から前記開口部の内側にくし歯状に延在する複数の端子部と、前記端子部及び基体部の上に形成され、前記複数の端子部から前記基体部にそれぞれ延在する配線パターンと、前記端子部上の前記配線パターンの先端部上に設けられた金属バンプと、前記基体部を支持する支持体とを有することを特徴とする電気特性測定用プローブ。

IPC (2件)：

G01R1/073 , H01L21/66

FI (2件)：

G01R1/073 E , H01L21/66 B

Fターム (11件)：

2G011AA15 , 2G011AA16 , 2G011AA21 , 2G011AB07 , 2G011AE03 , 4M106AA01 , 4M106AA02 , 4M106AA20 , 4M106BA01 , 4M106CA01 , 4M106DD03

引用特許：

出願人引用 (3件)

コンタクトプローブ及び該コンタクトプローブを設けたICパッケージ検査用ソケット
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-068115 出願人：株式会社ヨコオ
電気特性測定用プローブ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-145210 出願人：セイコーエプソン株式会社
半導体装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-366496 出願人：株式会社日立製作所

審査官引用 (5件)

特開平3-095468
プローブシート及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-009404 出願人：松下電器産業株式会社
特開平3-095468

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