特許
J-GLOBAL ID：200903021039003921

深紫外レーザー装置

発明者：
金田 有史

金田 有史 について

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浦田 佳治

浦田 佳治 について

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和田 智之

和田 智之 について

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今井 信一

今井 信一 について


出願人/特許権者：
株式会社メガオプト

株式会社メガオプト について

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アドバンスド・マスク・インスペクション・テクノロジー株式会社

アドバンスド・マスク・インスペクション・テクノロジー株式会社 について


代理人 (1件)： 上島 淳一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-271357
公開番号（公開出願番号）：特開2007-086104
出願日： 2005年09月20日
公開日（公表日）： 2007年04月05日
要約：
【課題】波長198.3〜198.8nmの波長域のレーザー光を発生することができるとともに、照明用の光源として各種装置に搭載可能であり、かつ、実用的で装置の全体構成を小型化したロバスト性の高い深紫外レーザー装置を提供する。【解決手段】第1の光源よりパルス出力される波長1064〜1065nmのレーザー光を第1の基本波とし、第1の波長変換手段により上記第1の基本波を波長変換して得た第4高調波を第2の基本波とし、第2の光源よりパルス出力される波長1560〜1570nmのレーザー光を第3の基本波とし、第2の波長変換手段により上記第3の基本波を波長変換して得た第2高調波を第4の基本波とし、和周波発生手段により上記第2の基本波と上記第4の基本波との和周波光である波長198.3〜198.8nmのレーザー光を発生させる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
第1の光源よりパルス出力される波長1064〜1065nmのレーザー光を第1の基本波とし、 第1の波長変換手段により前記第1の基本波を波長変換して得た第4高調波を第2の基本波とし、 第2の光源よりパルス出力される波長1560〜1570nmのレーザー光を第3の基本波とし、 第2の波長変換手段により前記第3の基本波を波長変換して得た第2高調波を第4の基本波とし、 和周波発生手段により前記第2の基本波と前記第4の基本波との和周波光である波長198.3〜198.8nmのレーザー光を発生させる ことを特徴とする深紫外レーザー装置。
IPC (3件)：
G02F 1/37 ,  H01S 3/06 ,  H01S 3/10
FI (4件)：
G02F1/37 ,  H01S3/06 B ,  H01S3/10 C ,  H01S3/10 A
Fターム (10件)：
2K002AA04 ,  2K002AB12 ,  2K002AB27 ,  2K002BA03 ,  2K002BA04 ,  2K002CA02 ,  2K002HA18 ,  2K002HA20 ,  5F172NR22 ,  5F172NR24
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (4件)
  • 光源装置及び光照射装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-189435   出願人：株式会社ニコン
  • 波長変換装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-054119   出願人：サイバーレーザー株式会社
  • レーザ装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-258124   出願人：株式会社ニコン, 古河電気工業株式会社
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引用文献：
審査官引用 (1件)

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