特許

J-GLOBAL ID：200903021106984096

ファブリペローフィルタ

発明者： 蒲原 敦彦
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-018592
公開番号（公開出願番号）：特開2004-233412
出願日： 2003年01月28日
公開日（公表日）： 2004年08月19日
要約：

【課題】多層光学薄膜の層数を少なくすると共に、製造が容易で、光ファイバーとの位置合わせが容易なファブリペローフィルタを提供すること。【解決手段】固定鏡とこの固定鏡に大きさ可変のギャップを有して対向配置される可動鏡とを有し、ギャップに対応する任意所望の波長の光を選択して透過させるファブリペローフィルタにおいて、固定鏡は、単結晶シリコン基板上に絶縁膜を介して単結晶シリコン層が形成されたSOI基板上に単結晶シリコン層をフォトエッチングすることにより形成され、可動鏡は、SOI基板上に絶縁膜及び単結晶シリコン層をフォトエッチングすることにより単結晶シリコン基板から浮いた中空梁状に形成されると共に、SOI基板の面方向で固定鏡に対向配置され、可動鏡をSOI基板の面方向に駆動して前記ギャップを可変としたことを特徴とするファブリペローフィルタ。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

固定鏡とこの固定鏡に大きさ可変のギャップを有して対向配置される可動鏡とを有し、前記ギャップに対応する任意所望の波長の光を選択して透過させるファブリペローフィルタにおいて、 前記固定鏡は、単結晶シリコン基板上に絶縁膜を介して単結晶シリコン層が形成されたSOI基板上に前記単結晶シリコン層をフォトエッチングすることにより形成され、 前記可動鏡は、前記SOI基板上に前記絶縁膜及び前記単結晶シリコン層をフォトエッチングすることにより前記単結晶シリコン基板から浮いた中空梁状に形成されると共に、前記SOI基板の面方向で前記固定鏡に対向配置され、 前記可動鏡を前記SOI基板の面方向に駆動して前記ギャップを可変としたことを特徴とするファブリペローフィルタ。

IPC (4件)：

G02B5/28 ,  G02B6/12 ,  G02B6/122 ,  G02B26/00

FI (4件)：

G02B5/28 ,  G02B26/00 ,  G02B6/12 C ,  G02B6/12 H

Fターム (17件)：

2H041AA21 ,  2H041AB15 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ01 ,  2H041AZ08 ,  2H047KA02 ,  2H047KB09 ,  2H047LA09 ,  2H047MA05 ,  2H047NA10 ,  2H047PA24 ,  2H047QA02 ,  2H048GA04 ,  2H048GA12 ,  2H048GA30 ,  2H048GA33 ,  2H048GA62

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 波長可変デバイス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-191667   出願人：日本電気株式会社
• 光空洞からなる物品
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-083938   出願人：ルーセントテクノロジーズインコーポレイテッド
• 波長可変半導体発光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-335825   出願人：日本電信電話株式会社
• ファブリペローフィルタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-371261   出願人：横河電機株式会社