特許
J-GLOBAL ID：200903042083767987

波長可変デバイス

発明者：
吉田 恵

吉田 恵 について


出願人/特許権者：
日本電気株式会社

日本電気株式会社 について


代理人 (1件)： 尾身 祐助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-191667
公開番号（公開出願番号）：特開2003-101138
出願日： 2002年07月01日
公開日（公表日）： 2003年04月04日
要約：
【要約】【課題】 小型、安価で、しかも広帯域において透過スペクトルの透過率が高く、且つ、そのバンド幅が狭い良好なフィルタ特性を示す波長可変フィルタを提供する。【解決手段】 基板上に1次元フォトニック結晶からなる平行に対向する一対のミラーで構成された共振器と、静電駆動型マイクロアクチュエータが備えられている。マイクロアクチュエータは、共振器を構成する可動ミラーと一体となった可動電極、可動電極を支持するバネおよび固定電極を有している。バネの固定端、固定電極および固定ミラーは基板に固定されている。可動電極、バネのうち固定端以外の部分および可動ミラーは基板から分離されて宙に浮いている。可動電極と固定電極間に電圧を印加すると、可動電極と固定電極間に静電力が発生し可動電極が並進移動する。それにより、共振器の共振器長が変化し、波長多重された複数の信号光から所望の波長光が選択的に共鳴透過する。
請求項（抜粋）：
対をなして平行に対向配置されたミラーよりなる共振器と、前記対をなすミラーの間隙を変化させて共振器長を変える間隔可変機構と、を有する波長可変デバイスにおいて、前記対をなすミラーの少なくとも一方と前記間隔可変機構とがともに基板上に一体的に形成され、かつ、そのミラーのミラー面が前記基板の基板面に対して垂直に形成されていることを特徴とする波長可変デバイス。
IPC (3件)：
H01S 5/14 ,  G02B 1/00 ,  G02B 5/08
FI (3件)：
H01S 5/14 ,  G02B 1/00 ,  G02B 5/08 A
Fターム (9件)：
2H042AA30 ,  2H042DB02 ,  2H042DD01 ,  2H042DE07 ,  5F073AA65 ,  5F073AA67 ,  5F073AB25 ,  5F073AB29 ,  5F073BA02
引用特許：
審査官引用 (4件)
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引用文献：
審査官引用 (2件)

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