特許
J-GLOBAL ID：200903021235008494
サンドブラスト装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金山 聡 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-195769
公開番号（公開出願番号）：特開2000-024925
出願日： 1998年07月10日
公開日（公表日）： 2000年01月25日
要約：
【要約】【課題】 PDPの背面板の障壁のサンドブラスト処理等に用いられるサンドブラスト装置において、処理基板のサイズに対応して、自動的に、ブラストノズルの位置を所定範囲内に制御して、移動させてサンドブラスト処理を行うことができるサンドブラスト装置を提供する。【解決手段】 処理室内において、ブラストノズル位置を移動させ、且つ、処理基板に対し、処理基板の処理面側に設けられたマスクを介して、高圧空気により研磨砂をブラストノズルから吹き付けて、処理基板上の表面物質を選択的に切削除去するサンドブラスト装置であって、処理基板のサイズを自動的に、実質的に測定する基板サイズ測定部と、基板サイズ測定部により測定されたデータ値に基づき、自動的にブラストノズル位置の移動範囲の設定を行い、処理基板のサイズに合わせて、ブラスト処理を行えるように処理基板を搬送させる処理基板搬送制御部とを備えている。
請求項（抜粋）：
処理室内において、ブラストノズル位置を移動させ、且つ、処理基板に対し、処理基板の処理面側に設けられたマスクを介して、高圧空気により研磨砂をブラストノズルから吹き付けて、処理基板上の表面物質を選択的に切削除去するサンドブラスト装置であって、処理基板のサイズを自動的に、実質的に測定する基板サイズ測定部と、基板サイズ測定部により測定されたデータ値に基づき、自動的にブラストノズル位置の移動範囲の設定を行い、処理基板のサイズに合わせて、ブラスト処理を行えるように処理基板を搬送させる処理基板搬送制御部とを備えたことを特徴とするサンドブラスト装置。
IPC (4件)：
B24C 1/04
, B24C 3/12
, H01J 9/02
, H01J 11/02
B24C 1/04 C
, B24C 3/12
, H01J 9/02 F
, H01J 11/02 B
