特許
J-GLOBAL ID：200903021297095431

ペリクル

発明者：
舟津 博幸

舟津 博幸 について


出願人/特許権者：
沖電気工業株式会社

沖電気工業株式会社 について


代理人 (1件)： 鈴木 敏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-117414
公開番号（公開出願番号）：特開2000-305256
出願日： 1999年04月26日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：
【要約】【課題】 ペリクルをマスクに装着する際、粘着材がペリクルフレームの幅方向に広がり、ホトリソ工程で異物が発生したり、繰り返し欠陥転写が生ずるという問題があった。【解決手段】 ペリクルフレーム12の粘着材13の塗布開始及び塗布終了が重なる部分15にペリクルフレーム12の端面の内側を残し、外側を削り取った切欠き20を形成したものである。
請求項（抜粋）：
ペリクルフレームと、前記ペリクルフレームの一方の端面に接着されたペリクル膜と、前記ペリクルフレームの他方の端面に塗布された粘着材とを有するペリクルにおいて、前記ペリクルフレームの前記粘着材の塗布開始及び塗布終了が重なる部分に、前記ペリクルフレームの端面の内側を残し、外側を削り取った切欠きを形成したことを特徴とするペリクル。
IPC (2件)：
G03F 1/14 ,  H01L 21/027
FI (2件)：
G03F 1/14 K ,  H01L 21/30 502 P
Fターム (2件)：
2H095BB30 ,  2H095BC38
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM