特許
J-GLOBAL ID:200903021312828220
実装基板の製造方法、実装基板および実装基板製造用マスター基板
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
佐藤 隆久
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-324368
公開番号(公開出願番号):特開2005-093660
出願日: 2003年09月17日
公開日(公表日): 2005年04月07日
要約:
【課題】歩留まりが高く、製造コストを抑制し、リードタイムを短くできる実装基板の製造方法と、この方法で製造された微細な導電パターンを有する実装基板およびそれを製造するためのマスター基板を提供する。【解決手段】表面が導電性である第1の導電性基板(10,11)上に、第1の導電性基板の表面よりも未硬化樹脂シートの表面に対して接着性が低い第1の樹脂パターン12pを形成して第2の導電層形成用のマスター基板を形成する。次に、第1の樹脂パターンをマスクとして第2の導電層13をパターン形成し、その上に第1の未硬化樹脂シート14を貼り合わせ、剥離して第2の導電層13を第1の未硬化樹脂シート14上に転写する。次に、第1の未硬化樹脂シート14をコア基板の第1の導電層が形成された面とを貼り合わせ、第1の未硬化樹脂シート14を硬化して第1の絶縁層とする。【選択図】図4
請求項(抜粋):
コア基板上に第1の導電層をパターン形成する工程と、
少なくとも表面が導電性である第1の導電性基板上の第2の導電層形成領域を除く領域において、当該第1の導電性基板の表面よりも未硬化樹脂シートの表面に対して接着性が低い第1の樹脂パターンを形成して第2の導電層形成用のマスター基板を形成する工程と、
前記第1の樹脂パターンをマスクとして、前記第2の導電層形成領域における前記第1の導電性基板上に第2の導電層をパターン形成する工程と、
前記第2の導電層側から前記第2の導電層形成用のマスター基板に第1の未硬化樹脂シートを貼り合わせる工程と、
前記第1の未硬化樹脂シートと前記第1の樹脂パターンの界面および前記第2の導電層と前記第1の導電性基板の界面で剥離し、前記第2の導電層を前記第1の未硬化樹脂シート上に転写する工程と、
前記第1の未硬化樹脂シートの前記第2の導電層が転写された面と反対側の面と、前記コア基板の前記第1の導電層が形成された面とを貼り合わせる工程と、
前記第1の未硬化樹脂シートを硬化して第1の絶縁層とする工程と
を有する実装基板の製造方法。
IPC (3件):
H05K3/46
, H01L23/12
, H05K3/20
FI (4件):
H05K3/46 G
, H05K3/46 N
, H05K3/20 B
, H01L23/12 N
Fターム (35件):
5E343AA02
, 5E343AA13
, 5E343AA15
, 5E343AA17
, 5E343BB24
, 5E343DD56
, 5E343EE52
, 5E343ER12
, 5E343ER52
, 5E343GG08
, 5E343GG11
, 5E346AA02
, 5E346AA12
, 5E346AA15
, 5E346AA22
, 5E346AA43
, 5E346CC04
, 5E346CC05
, 5E346CC09
, 5E346CC32
, 5E346CC54
, 5E346DD02
, 5E346DD24
, 5E346DD33
, 5E346DD44
, 5E346EE01
, 5E346EE07
, 5E346FF01
, 5E346FF18
, 5E346GG15
, 5E346GG17
, 5E346GG27
, 5E346GG28
, 5E346HH26
, 5E346HH33
引用特許:
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