回転駆動装置及びこれを用いたディスク原盤作成装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤村元彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-266578
公開番号（公開出願番号）：特開2002-074899
出願日： 2000年09月04日
公開日（公表日）： 2002年03月15日
要約：

【要約】【課題】駆動時の温度変化の影響を抑制した回転駆動装置及びこれを用いたディスク原盤作成装置を提供する。【解決手段】ハウジングと、ハウジングから少なくとも1端部が露出しつつ収容され軸受によって回転自在に支持されディスク原盤を担持したスピンドルシャフトと、スピンドルシャフトを回転駆動するモータと、ハウジングとスピンドルシャフトとの間隙に介在する磁性流体シールとを備え、真空雰囲気内で用いられる回転駆動装置であって、磁性流体シール及びモータの近傍に配置された温度センサ及び電気加熱器と、温度センサの出力に基づいて電気加熱器を制御する温調コントローラとを有する。

請求項（抜粋）：

ハウジングと、前記ハウジングから少なくとも1端部が露出しつつ収容され軸受によって回転自在に支持されたスピンドルシャフトと、前記スピンドルシャフトを回転駆動するモータと、前記ハウジングと前記スピンドルシャフトとの間隙に介在する磁性流体シールとを備え、真空雰囲気内で用いられる回転駆動装置であって、前記磁性流体シール及び前記モータの近傍に配置された温度センサ及び電気加熱器と、前記温度センサの出力に基づいて電気加熱器を制御する温調コントローラとを有することを特徴とする回転駆動装置。

IPC (5件)：

G11B 25/04 101 , G11B 19/20 , H02K 5/16 , H02K 7/08 , F16C 32/06

FI (5件)：

G11B 25/04 101 K , G11B 19/20 F , H02K 5/16 Z , H02K 7/08 A , F16C 32/06 Z

Fターム (22件)：

3J102AA02 , 3J102BA03 , 3J102BA19 , 3J102CA11 , 3J102EA02 , 3J102EA06 , 3J102EA13 , 3J102GA07 , 5D109BB04 , 5D109BB20 , 5D109BC12 , 5H605BB05 , 5H605BB14 , 5H605CC04 , 5H605EB01 , 5H607AA03 , 5H607BB01 , 5H607BB14 , 5H607BB25 , 5H607GG07 , 5H607GG13 , 5H607GG14

引用特許：

審査官引用 (9件)

枚葉式の熱処理装置及び熱処理方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-267775 出願人：東京エレクトロン株式会社
モータ使用装置およびこれを備えた画像形成装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-274845 出願人：キヤノン株式会社
特開平4-161042

全件表示

前のページに戻る