特許

J-GLOBAL ID：200903021511937356

走査形プローブ顕微鏡

発明者： 中本圭一
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 青木 健二 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-272141
公開番号（公開出願番号）：特開平10-115624
出願日： 1996年10月15日
公開日（公表日）： 1998年05月06日
要約：

【要約】【目的】試料のレプリカを必要としないとともに真空度の劣化および試料表面への霜の付着をともに防止でき、しかも凍結割断した試料を直接観察する。【構成】試料ホルダ23上に載置された生体試料5が急速凍結された後、試料ホルダ23が試料台6に取り付けられ、試料台6がトランスファーロッド11に取り付けられる。このロッド11がロードロック機構13内に挿入され、かつロードロック機構13を介して真空排気が行われた後、ロッド11を操作して、試料台6がかんな台7aに装着される。試料台6がX軸方向に移動されて、生体試料5の表面がカッター刃21により割断される。試料台6およびカッター刃21がそれぞれヒートコンダクタ17,22によって冷却され、しかも真空度が劣化しないので、生体試料5の割断表面に霜が付着することはない。その後、従来の同様に生体試料5の割断表面のAFM観察が行われる。

請求項（抜粋）：

観察用試料ステージによって移動されるスキャナに試料が載置され、この試料に対向して配置される探針を有するカンチレバーに、光源から放出される光線を照射するとともに、前記カンチレバーにおいて反射した前記光線の反射光をフォトディテクタによって受光させながら前記スキャナを走査することにより、前記試料の観察を行うようになっている走査形プローブ顕微鏡において、装置本体のハウジング内を真空排気可能とするとともに、前記ハウジング内の真空を保持した状態で前記スキャナ上に前記試料を交換可能にする試料導入機構と、前記ハウジング内で前記観察用試料ステージの近傍に設置され、前記試料を割断する割断手段と、前記装置本体に設けられ、前記ハウジング内の真空を保持した状態で前記割断手段および前記試料を冷却する冷却手段と、前記ハウジング内に設けられ、前記試料を前記割断手段によって割断するために前記試料を移動させる割断用ステージとを備えていることを特徴とする走査形プローブ顕微鏡。

IPC (3件)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  G01N 1/28

FI (4件)：

G01N 37/00 A ,  G01B 21/30 Z ,  G01N 1/28 G ,  G01N 1/28 J

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 表面顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-241098   出願人：株式会社日立製作所
• 走査型トンネル顕微鏡用劈開・剥離装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-335257   出願人：日本電子株式会社
• 電子顕微鏡用試料凍結乾燥装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-230973   出願人：株式会社真空デバイス
• 特開平4-249054