特許
J-GLOBAL ID：200903021525787322
静電吸着装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-009809
公開番号（公開出願番号）：特開平9-205133
出願日： 1996年01月24日
公開日（公表日）： 1997年08月05日
要約：
【要約】【課題】静電吸着装置を用いてウエハを吸着固定した場合、処理終了後に発生する残留吸着力により次動作への待ち時間の増加や、外力によりウエハを引き剥がす際にウエハを破壊する場合がある。ウエハを最も破壊することなくウエハを引き剥がす方法を提供する。【解決手段】ウエハを誘電膜から引き剥がすプッシャをウエハ半径の60〜70%の位置に3個以上配置する。
請求項（抜粋）：
導電性材料からなる電極と、前記電極の表面に取り付けられた表面の平坦な誘電膜を有し、該誘電膜とウエハの間に電界を発生させ、静電気力によりウエハを吸着固定する静電吸着装置において、前記誘電膜上のウエハの積載面の中心から半径方向60〜80%の領域に前記電極及び誘電膜を貫通する貫通孔を3個以上設け、前記貫通孔内には上下方向に可動な棒状体を埋設し、前記プッシャの上下運動によりウエハを引き剥がすことを特徴とする静電吸着装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 R
, H02N 13/00 D
