特許
J-GLOBAL ID：200903021575597257
干渉法で測定されたデ-タの処理方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-306829
公開番号（公開出願番号）：特開2000-131020
出願日： 1999年10月28日
公開日（公表日）： 2000年05月12日
要約：
【要約】【課題】 材料Mの厚さ等、物体の物理特性を表す干渉法測定データの処理方法を提供する。【解決手段】 長さLに関して複数の干渉信号1,2,・・・を得て、記憶し、その複数の干渉信号が得られた長さLの寸法を求める。その後、複数の干渉信号の捕捉の開始位置に関して干渉信号のすべてのピークの位置、振幅を求める。次に、物体の物理特性を表す干渉計ピークを求めて、これらの配列を、あらかじめ定められた分類パターンと照合し、必要なピークを抽出する。
請求項（抜粋）：
移動する物体の物理特性を表す干渉法測定データの処理方法であって、前記物体の物理特性を表す複数の干渉信号を捕捉し、順次記憶するステップと、前記複数の干渉信号のすべてのピークの位置および振幅を求めるステップと、前記ピークの振幅にパターン分類子を適用し、特定のピークを選択するステップと、前記選択されたピークを記憶するステップと、を含むデータ処理方法。
引用特許：
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