赤外線センサ及び赤外線撮像素子

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：日向寺雅彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-201655
公開番号（公開出願番号）：特開2005-043148
出願日： 2003年07月25日
公開日（公表日）： 2005年02月17日
要約：

【課題】雑音が小さく、センサ感度が良く、センサの温度上昇に対する出力信号の線形性が良好な、熱型の赤外線センサ及び赤外線撮像素子を提供することを目的とする。【解決手段】基板102と、前記基板の表面に設けられた第1及び第2の電極107、108と、前記第1及び第2の電極から離間しこれら電極に対向して前記基板上に設けられた第3の電極と、前記第3の電極103の上に設けられ、入射赤外線を吸収し熱に変換する赤外線吸収層109と、前記第3の電極及び前記赤外線吸収層を前記第1及び第2の電極から前記離間した状態に支持する支持脚104と、を備えたことを特徴とする赤外線センサ101を提供する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板の表面に設けられた第1及び第2の電極と、前記第1及び第2の電極から離間しこれら電極に対向して前記基板上に設けられた第3の電極と、前記第3の電極の上に設けられ、入射赤外線を吸収し熱に変換する赤外線吸収層と、前記第3の電極及び前記赤外線吸収層を前記第1及び第2の電極から前記離間した状態に支持する支持脚と、を備えたことを特徴とする赤外線センサ。

IPC (5件)：

G01J1/02 , G01J5/48 , H01L27/14 , H01L31/00 , H04N5/33

FI (8件)：

G01J1/02 C , G01J1/02 Q , G01J1/02 R , G01J5/48 F , H04N5/33 , H01L31/00 B , H01L27/14 K , H01L27/14 D

Fターム (37件)：

2G065AA11 , 2G065AB02 , 2G065BA01 , 2G065BA14 , 2G065BA34 , 2G065BA40 , 2G065BC02 , 2G065BC40 , 2G065DA18 , 2G066BA60 , 2G066CA02 , 4M118AA01 , 4M118AA05 , 4M118AB01 , 4M118BA06 , 4M118BA14 , 4M118CA01 , 4M118CA35 , 4M118CA40 , 4M118CB07 , 4M118CB13 , 4M118CB14 , 4M118DD09 , 4M118EA01 , 4M118EA20 , 4M118FA06 , 4M118GA10 , 5C024AX06 , 5C024GX01 , 5F088AA20 , 5F088AB01 , 5F088BB03 , 5F088EA04 , 5F088GA03 , 5F088HA20 , 5F088KA10 , 5F088LA01

引用特許：

審査官引用 (4件)

容量検出式放射検出センサおよびこれを用いた映像化装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-148914 出願人：株式会社ニコン
振動型赤外線センサ、振動型赤外線イメージャ、及び赤外線検出方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-260346 出願人：財団法人半導体研究振興会
特開平2-019712

全件表示

前のページに戻る