赤外線検出素子及びその製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤成示 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-231054
公開番号（公開出願番号）：特開平8-097444
出願日： 1994年09月27日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：

【要約】【目的】赤外線検出素子の熱絶縁膜の歪みまたは破壊を防止する。【構成】表面側開口11aを備えた単結晶基板10と、表面側開口11aを覆って、その周辺部分が単結晶基板10に支持された熱絶縁膜12と、薄膜抵抗体14及び下部電極15及び上部電極16とを有し、表面側開口11b上方の熱絶縁膜12上に形成された赤外線検出部13とを備えた赤外線検出素子において、表面側開口11bの平面形状を鋭い角のない形状とする。【効果】熱絶縁膜12の応力集中を緩和することができ、熱絶縁膜12の歪みまたは破壊を防止できる。

請求項（抜粋）：

その表面に表面側開口を備えた基板部と、前記表面側開口を覆って、その周辺部分が前記基板部に支持された熱絶縁膜と、薄膜抵抗体及び一対の電極とを有し、前記表面側開口上方の前記熱絶縁膜上に形成された赤外線検出部とを備えた赤外線検出素子において、前記表面側開口の平面形状を鋭い角のない形状とすることを特徴とする赤外線検出素子。

IPC (5件)：

H01L 31/02 , G01J 1/02 , G01J 5/02 , G01J 5/20 , H01C 7/04

引用特許：

審査官引用 (10件)

赤外線検知装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-307807 出願人：三菱電機株式会社
特開平1-094227
特開昭62-162930

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