特許
J-GLOBAL ID:200903021637633441
マッピングデータ表示方法、プログラム、および装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
岩橋 祐司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-030521
公開番号(公開出願番号):特開2007-212206
出願日: 2006年02月08日
公開日(公表日): 2007年08月23日
要約:
【課題】取得したスペクトルマッピングデータから、十分な情報を抽出したマッピング図を表示することのできるマッピングデータ表示方法を提供する。【解決手段】試料面上の複数の点での分光スペクトル測定で得られたマッピングデータを表示手段へ表示する方法であって、試料面上の各点で得られたスペクトルデータの複数の波数での値から各点における、主成分スコア、所定の既知物質との類似度、濃度、厚み、物性値、からなる一群から選択される1または複数の演算値を演算する演算工程と、演算工程にて演算した演算値に関する情報の2次元または3次元のマッピング図を作成するマッピング図作成工程と、マッピング図作成工程で作成されたマッピング図を表示手段に表示するマッピング図表示工程と、を備えたことを特徴とするマッピングデータ表示方法。【選択図】図2
請求項(抜粋):
試料面上の複数の点での分光スペクトルを分光測定装置で測定して得られたマッピングデータを表示手段へ表示する方法であって、
前記試料面上の少なくとも一部の領域内の各点で得られたスペクトルデータの複数の波数での値から、各スペクトルデータを個々のサンプルとしスペクトルデータの複数の波数での値を変量として主成分分析を行ったときの各サンプルの主成分スコア、各点のスペクトルと所定の既知物質のスペクトルとの類似度、所定の物質の各点での濃度、各点での試料の厚み、各点での試料の物性値、からなる一群から選択される1または複数の演算値を演算する演算工程と、
前記演算工程にて演算した演算値に関する情報の2次元または3次元のマッピング図を作成するマッピング図作成工程と、
前記マッピング図作成工程で作成されたマッピング図を前記表示手段に表示するマッピング図表示工程と、
を備えたことを特徴とするマッピングデータ表示方法。
IPC (2件):
FI (2件):
G01N21/41 Z
, G01N21/35 Z
Fターム (4件):
2G059EE12
, 2G059FF01
, 2G059HH01
, 2G059KK04
引用特許:
出願人引用 (1件)
-
煙濃度測定装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-299351
出願人:松下電工株式会社
審査官引用 (5件)
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