特許
J-GLOBAL ID：200903021885547047
分光計測方法及び分光計測装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-232541
公開番号（公開出願番号）：特開2006-052948
出願日： 2004年08月09日
公開日（公表日）： 2006年02月23日
要約：
【課題】 測定試料の形状および物性および設置方法を限定せずに、測定試料によって反射したテラヘルツパルスの振幅強度情報と位相情報を含む測定を行う方法および装置の提供する。【解決手段】 レーザーパルスを用いて発生させたテラヘルツパルス光を測定対象に照射し測定対象から反射する反射光を検出する分光光学系とレーザーを用いて測定対象と分光光学系との相対位置を検出する位置計測装置を備える分光計測装置を構成し、検出した相対位置情報を用いて、分光光学系の遅延装置を補正する。これにより、測定試料の形状および物性および設置方法を限定せずに、測定試料によって反射したテラヘルツパルス光の振幅強度情報と位相情報を含む測定を可能とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
パルス光を測定試料に照射し、この測定試料からの応答信号を検出して前記測定試料の特性を測定する分光計測方法において、前記測定試料と分光光学系の相対位置を検出し、この相対位置に基づいて前記応答信号の時間軸を補正することを特徴とする分光計測方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (8件)：
2G020AA03
, 2G020CA14
, 2G020CB23
, 2G020CD38
, 2G059AA05
, 2G059BB16
, 2G059FF04
, 2G059HH01
