特許
J-GLOBAL ID:200903021926051566

表面検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小塩 豊
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-130054
公開番号(公開出願番号):特開平10-318938
出願日: 1997年05月20日
公開日(公表日): 1998年12月04日
要約:
【要約】【課題】 被検査面が複雑な曲面の場合において、ゴミブツ及びハジキ等の凹凸欠陥を検出できるようにする。【解決手段】 自動車のボディ5に光を照射し、ボディ5表面からの反射光に基づいて受光画像を形成し、この受光画像に基づいてボディ5上に存在する欠陥を検出する表面検査装置において、自動車ボディを囲むような門型形状に配置された光源101を含みかつボディ5上にピッチ幅の異なる部分を合わせ持つ複合型明暗ストライプパターン105を形成する照明手段1と、自動車ボディを囲むような門型形状に配置固定されかつボディ面からの反射光に基づいて複数の受光画像を形成する複数のCCDカメラ3と、自動車ボディを所定速度にて搬送する搬送コンベア8と、ボディ5が照明手段1及びCCDカメラ3に囲まれる領域を通過する際に、CCDカメラ3により得られる受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出しその検出情報を出力する検査処理手段4とを設けた。
請求項(抜粋):
被検査物体の被検査面に光を照射し、被検査面からの反射光に基づいて受光画像を形成し、前記受光画像に基づいて被検査面上に存在する欠陥を検出する表面検査装置であって、被検査物体を囲むような門型形状に配置された光源を含みかつ被検査面上に所定の明暗パターンを形成する照射手段と、被検査物体を囲むような門型形状に配置固定されかつ被検査面からの反射光に基づいて複数の受光画像を形成する撮像手段と、被検査物体を所定速度にて搬送する搬送手段と、被検査物体が前記照明手段及び撮像手段に囲まれる領域を通過する際に、前記撮像手段により得られる受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出しその検出情報を出力する検査処理手段とを有することを特徴とする表面検査装置。
IPC (3件):
G01N 21/89 ,  G01B 11/30 ,  G06T 7/00
FI (3件):
G01N 21/89 Z ,  G01B 11/30 E ,  G06F 15/62 400
引用特許:
審査官引用 (5件)
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