加速度センサ及びその製造方法、並びに加速度センサを利用した衝撃検知機器

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：池内寛幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-259808
公開番号（公開出願番号）：特開平10-096742
出願日： 1996年09月30日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：

【要約】【課題】広い周波数領域にわたって高感度を有し、しかも感度等の特性のばらつきの極めて小さい小型の加速度センサを提供する。【解決手段】相対する2つの主面を有する厚み50μm、幅0.5mm、長さ2mmの長方形状のLiNbO3 からなる圧電基板2a、2bの主面同士を、分極軸の向きが互いに逆方向となるように接合し、圧電素子2を構成する。圧電素子2の一端に、LiNbO3 からなる支持体4a、4bを直接接合する。圧電素子2の相対する2つの主面と支持体4a、4bに、厚み0.2μmのクロム-金からなる電極3a、3bを連続して形成し、片持ち梁構造のバイモルフ型機械-電気変換子1を構成する。

請求項（抜粋）：

相対する2つの主面を有する少なくとも2つの圧電基板の前記主面同士が直接接合されて構成された圧電素子と、前記圧電素子の相対する2つの主面に形成された電極とからなる機械-電気変換子と、前記機械-電気変換子を支持する支持体とを備えた加速度センサ。

IPC (5件)：

G01P 15/09 , H01L 29/84 , H01L 41/08 , H01L 41/18 , H01L 41/22

FI (5件)：

G01P 15/09 , H01L 29/84 A , H01L 41/08 Z , H01L 41/18 101 A , H01L 41/22 Z

引用特許：

審査官引用 (7件)

加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-173018 出願人：株式会社村田製作所
圧電センサ及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-335755 出願人：ティーディーケイ株式会社
圧電センサ及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-137613 出願人：ティーディーケイ株式会社

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