反射鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-356569
公開番号（公開出願番号）：特開2003-156612
出願日： 2001年11月21日
公開日（公表日）： 2003年05月30日
要約：

【要約】【課題】少ない電極で、高い結像性能が得られる反射鏡を提供することである。【解決手段】反射鏡は、反射面106が形成された反射膜107と、反射膜107を保持する保持部102と、反射膜107に対向している対向電極108と、反射膜107に設けられている反射膜電極105とを有している。両電極105,108の間に電極間電圧が印加されたとき、反射膜電極105に静電気力が働き、この静電気力に応じて反射膜107が変形する。対向電極108には切欠き109が設けられている。対向電極108は一続きである。切欠き109は電極間電圧の印加が開始されたときに反射膜107を所定の形状に変形させる静電気力密度の分布が反射膜電極105にわたって生じるよう、設定されている。

請求項（抜粋）：

反射面が形成された反射膜と、この反射膜の周縁部を保持する保持部と、前記反射膜に間隔をおいて対向しており、反射膜に沿って延びている1つ以上の対向電極と、前記反射膜に設けられており、反射膜に沿って延びている1つ以上の反射膜電極とを有しており、前記対向電極と前記反射膜電極との間に電極間電圧が印加されたとき、反射膜電極に静電気力が働き、この静電気力に応じて前記反射膜が変形する反射鏡であって、前記1つ以上の対向電極又は前記1つ以上の反射膜電極の内の少なくとも1つの電極には切欠きが設けられ、かつ前記切欠きが設けられた電極は一続きであり、前記切欠きは、電極間電圧の印加が開始されたときに前記反射膜を所定の形状に変形させる静電気力密度の分布が前記反射膜電極にわたって生じるよう、設定されていることを特徴とする反射鏡。

IPC (3件)：

G02B 5/10 , G02B 7/198 , G02B 26/06

FI (3件)：

G02B 5/10 B , G02B 26/06 , G02B 7/18 B

Fターム (20件)：

2H041AA23 , 2H041AB14 , 2H041AC06 , 2H041AZ02 , 2H041AZ08 , 2H042DA02 , 2H042DA11 , 2H042DA12 , 2H042DA21 , 2H042DB14 , 2H042DC11 , 2H042DD06 , 2H042DD08 , 2H042DD09 , 2H042DD11 , 2H042DE07 , 2H042DE08 , 2H043BB05 , 2H043BC01 , 2H043CB01

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平2-101402
光スイッチ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-146178 出願人：横河電機株式会社
変形可能ミラー
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-065196 出願人：シャープ株式会社

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