特許
J-GLOBAL ID：200903022052256061
弾性表面波装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-330681
公開番号（公開出願番号）：特開平11-163661
出願日： 1997年12月01日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：
【要約】【課題】電極層を構成するAl合金結晶粒径を小さくして耐電力性を向上させ、また水が電極層に接触して生じる局部電池腐食による電極層の劣化を抑制する。【解決手段】圧電基板1の主面上に少なくとも一対のIDT電極を形成して成るSAW装置であって、前記IDT電極が3層構成の電極層5から成り、該電極層5の圧電基板1側から第1層2及び第3層4がCu,Ti,Pd,Mg,Cr,Ni又はTaを0.1〜2.0重量%含有するAl合金層、第2層3が中間層である。
請求項（抜粋）：
圧電基板の主面上に少なくとも一対の櫛歯状電極を形成して成る弾性表面波装置であって、前記櫛歯状電極が3層構成の電極層から成り、前記圧電基板側からみて該電極層の第1層及び第3層がCu,Ti,Pd,Mg,Cr,Ni又はTaを0.1〜2.0重量%含有するAl合金層であり、これら第1層と第3層の間にAl合金結晶粒の成長を阻止する中間層を設けたことを特徴とする弾性表面波装置。
引用特許：
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