特許
J-GLOBAL ID：200903022086262001

2軸マイクロスキャナー

発明者：
金 準 ▲ご▼

金 準 ▲ご▼ について

, 
李 華 善

李 華 善 について


出願人/特許権者：
三星電子株式会社

三星電子株式会社 について


代理人 (6件)： 八田 幹雄 ,  奈良 泰男 ,  宇谷 勝幸 ,  藤田 健 ,  都祭 正則 ,  長谷川 俊弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-339946
公開番号（公開出願番号）：特開2007-188073
出願日： 2006年12月18日
公開日（公表日）： 2007年07月26日
要約：
【課題】高周波運動を必要とする水平駆動は、垂直コム電極構造を利用し、低周波運動を必要とする垂直駆動は、圧電アクチュエータを利用する2軸マイクロスキャナーを提供する。【解決手段】フレーム37と、マイクロミラー25、マイクロミラーの両側面に沿って平行に形成された複数の垂直駆動コム電極17、及び駆動コム電極と相互交互に形成された複数の垂直固定コム電極12を備える水平駆動部38と、フレームから延びて水平駆動部の両端にそれぞれ連結されることによって、水平駆動部を支持する複数のカンチレバー31及びそれぞれのカンチレバーの上面に設置された複数の圧電アクチュエータ30を備える垂直駆動部39と、を備え、圧電アクチュエータの収縮/膨脹作用によってカンチレバーが上下面方向に反り運動を行うことを特徴とする2軸マイクロスキャナー20である。【選択図】図2A
請求項（抜粋）：
フレームと、 マイクロミラー、前記マイクロミラーの両側面に沿って平行に形成された複数の垂直駆動コム電極、及び前記駆動コム電極と相互交互に形成された複数の垂直固定コム電極を備える水平駆動部と、 前記フレームから延びて前記水平駆動部の両端にそれぞれ連結されることによって、前記水平駆動部を支持する複数のカンチレバー及びそれぞれのカンチレバーの上面に設置された複数の圧電アクチュエータを備える垂直駆動部と、を備え、 前記圧電アクチュエータの収縮/膨脹作用によって前記カンチレバーが上下面方向に反り運動を行うことを特徴とするマイクロスキャナー。
IPC (4件)：
G02B 26/10 ,  B81B 3/00 ,  G02B 26/08 ,  H04N 1/036
FI (4件)：
G02B26/10 104Z ,  B81B3/00 ,  G02B26/08 E ,  H04N1/036 Z
Fターム (19件)：
2H041AA12 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AC08 ,  2H041AZ05 ,  2H041AZ08 ,  2H045AB10 ,  2H045AB13 ,  2H045AB22 ,  2H045AB73 ,  5C051AA02 ,  5C051CA07 ,  5C051DB02 ,  5C051DB24 ,  5C051DB30 ,  5C051DC02 ,  5C051DC04 ,  5C051DC07 ,  5C051DE09
引用特許：
審査官引用 (5件)
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