特許
J-GLOBAL ID:200903049614490246
光偏向器及び光学装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
丹羽 宏之
, 野口 忠夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-361873
公開番号(公開出願番号):特開2005-128147
出願日: 2003年10月22日
公開日(公表日): 2005年05月19日
要約:
【課題】 ミラー基板と圧電素子との一体形成を可能とし、軸ずれを抑えて、圧電振動の影響によるミラーの並進運動を防止できるとともに、高速動作が可能で、大きな偏向角及び大振幅動作が得られ、また、小型化、薄型化、及び軽量化を図ることができる光偏向器を提供する。【解決手段】 圧電ユニモルフ振動板3a〜3dと、この圧電ユニモルフ振動板3a〜3dの一端を固定して支持する空隙9′を有した支持体9と、圧電ユニモルフ振動板3a〜3dに接続された弾性支持部2a、2bと、この弾性支持部2a、2bに接続され、これを介して圧電ユニモルフ振動板3a〜3dの駆動により上記空隙9′内で回転振動するミラー部1とを備え、これらを一体形成する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
圧電ユニモルフ振動板と、前記圧電ユニモルフ振動板の一端を固定して支持する空洞部を有した支持体と、前記圧電ユニモルフ振動板に接続された弾性体と、前記弾性体に接続され、該弾性体を介して前記圧電ユニモルフ振動板の駆動により前記空洞部内で回転振動する反射板とを有し、前記圧電ユニモルフ振動板、支持体、弾性体及び反射板を一体形成したことを特徴とする光偏向器。
IPC (3件):
G02B26/10
, B41J2/44
, H04N1/036
FI (3件):
G02B26/10 104Z
, H04N1/036 Z
, B41J3/00 D
Fターム (14件):
2C362BA17
, 2C362DA08
, 2H045AB02
, 2H045AB24
, 2H045AB73
, 5C051AA02
, 5C051CA07
, 5C051DB02
, 5C051DB07
, 5C051DB24
, 5C051DB30
, 5C051DC03
, 5C051DC07
, 5C051DE01
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)