特許
J-GLOBAL ID:200903022103763605
弾性表面波ジャイロスコープ
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
小谷 悦司 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-137023
公開番号(公開出願番号):特開平9-318362
出願日: 1996年05月30日
公開日(公表日): 1997年12月12日
要約:
【要約】【課題】 検出精度を低下させることなく検出用IDT等の位置精度を軽減する。【解決手段】 圧電基板100の表面中央にコリオリ力を検出するIDT101、その両側に弾性表面波を発生するIDT102,103、更にその両側に反射器対104,105が一列に配列されている。IDT101の検出信号は検出回路31の差動アンプ34の+端子に入力されている。圧電基板上に弾性表面波共振器θを用いた高周波発振器32が構成され、その出力はIDT102,103と検出回路31の位相シフタ33とに入力されている。位相シフタ33はIDT101とIDT102,103間の距離に基づく位相を補正して振動源である弾性表面波に起因する検出信号成分に相当する信号を生成する。差動アンプ34によりIDT101の検出信号から弾性表面波に起因する信号成分を除去し、コリオリ力に起因する検出信号成分のみが検出される。
請求項(抜粋):
圧電基板と、上記圧電基板の表面に形成され、圧電効果により電圧変換されたコリオリ力を検出する検出用電極と、上記検出用電極の両外側に形成され、弾性表面波を発生させる一対の駆動用電極と、上記一対の駆動用電極の両外側に形成され、上記弾性表面波を上記検出用電極側に反射する一対の反射器用電極と、上記駆動用電極に印加される高周波を生成する高周波生成手段と、圧電効果により電圧変換された上記弾性表面波に基づく振動に相当する信号を生成する信号生成手段と、上記検出用電極からの検出信号と上記信号生成手段からの出力信号との差信号を出力する信号出力手段とを備えたことを特徴とする弾性表面波ジャイロスコープ。
IPC (2件):
FI (2件):
引用特許: