特許
J-GLOBAL ID:200903045573249134
弾性表面波ジャイロスコープ
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
小谷 悦司 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-137022
公開番号(公開出願番号):特開平9-318361
出願日: 1996年05月30日
公開日(公表日): 1997年12月12日
要約:
【要約】【課題】 コリオリ力の検出感度の温度特性を向上する。【解決手段】 圧電基板100の表面にコリオリ力を検出するIDT101、弾性表面波を発生するIDT102,103及び反射器対104,105が一列に配列されている。IDT101の両側にIDT102,103が配置され、その両側に104,105が配置されている。また、圧電基板上にIDT及びグレーテング反射器からなる弾性表面波共振器θを用いた高周波発振器32が構成され、その出力はIDT102,103に入力されている。弾性表面波の発生源の高周波発振器32の共振素子θを反射器104,105と同一素材で構成し、弾性表面波とこの反射器の温度特性を略一致させることにより弾性表面波の定在波の温度変化による振幅変動を低減し、コリオリ力の検出感度の安定化を図った。
請求項(抜粋):
圧電基板と、上記圧電基板の表面に形成され、圧電効果により電圧変換されたコリオリ力を検出する検出用電極と、上記検出用電極の両外側に形成され、弾性表面波を発生させる一対の駆動用電極と、上記一対の駆動用電極の両外側に形成され、上記弾性表面波を上記検出用電極側に反射する一対の反射器用電極と、上記駆動用電極に印加される高周波を生成する高周波生成手段とを備え、圧電基板の表面を弾性表面波により振動させ、この振動と圧電基板の回転運動との相互作用により基板表面に発生したコリオリ力を検出する弾性表面波ジャイロスコープにおいて、上記高周波生成手段は、上記圧電基板と同一の圧電特性を有する基板で構成された弾性表面波共振素子を用いた発振回路からなることを特徴とする弾性表面波ジャイロスコープ。
IPC (2件):
FI (2件):
引用特許: