特許
J-GLOBAL ID:200903022131094565

デバイス試験装置およびデバイス試験方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-226216
公開番号(公開出願番号):特開2008-051581
出願日: 2006年08月23日
公開日(公表日): 2008年03月06日
要約:
【課題】 限られたハードウェア資源を有効利用し、デバイス試験の効率を上げ、DUT当たりの試験コストを低減する。【解決手段】 本発明のデバイス試験装置100は、複数のDUT140を載設するパフォーマンスボード130と嵌合し、該複数のDUTのデバイス端子に電気的に接続される複数のテスト端子が設けられたテストヘッド120と、テストヘッド内のテスト端子を所定数毎に分割したクラスタに制限されることなく、デバイス端子を複数のテスト端子に任意に割り当てさせ、デバイス端子とテスト端子との対応関係を示すデバイス定義ファイルを生成する端子設定部152と、デバイス定義ファイルに基づいて、テストプログラムにおけるデバイス端子の試験パラメータをテスト端子に割り当てるATE割当部154と、割り当てられた試験パラメータで複数のDUTの試験を遂行する試験遂行部と、を備える。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
複数の被試験デバイスの電気的試験を行うデバイス試験装置であって、 前記複数の被試験デバイスを載設するパフォーマンスボードと嵌合し、該複数の被試験デバイスのデバイス端子に電気的に接続される複数のテスト端子が設けられたテストヘッドと、 前記テストヘッド内のテスト端子を所定数毎に分割したクラスタに制限されることなく、前記デバイス端子を前記複数のテスト端子に任意に割り当てさせ、デバイス端子とテスト端子との対応関係を示すデバイス定義ファイルを生成する端子設定部と、 前記デバイス定義ファイルに基づいて、テストプログラムにおける前記デバイス端子の試験パラメータをテスト端子に割り当てるATE割当部と、 割り当てられた試験パラメータで前記複数の被試験デバイスの試験を遂行する試験遂行部と、 を備えることを特徴とする、デバイス試験装置。
IPC (1件):
G01R 31/28
FI (3件):
G01R31/28 H ,  G01R31/28 B ,  G01R31/28 Y
Fターム (6件):
2G132AA01 ,  2G132AA08 ,  2G132AE19 ,  2G132AG08 ,  2G132AL05 ,  2G132AL26
引用特許:
出願人引用 (11件)
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審査官引用 (11件)
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