感光性樹脂組成物および感光性耐熱性樹脂前駆体組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-002943
公開番号（公開出願番号）：特開平11-202490
出願日： 1998年01月09日
公開日（公表日）： 1999年07月30日
要約：

【要約】【課題】光波長において透明でないポリマーを用いた感光性材料においても、美しいパターンプロファイルが得ることが出来、かつ加工時の雰囲気の影響を受けにくい、感光性樹脂組成物、感光性耐熱性樹脂前駆体組成物を提供する。【解決手段】(a)フェノール性水酸基を有するポリマーと、(b)オルトナフトキノンジアジド化合物と(c)露光波長に吸収があり、露光波長より長波長側にて発光する化合物を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

(a)フェノール性水酸基を有するポリマーと、(b)オルトナフトキノンジアジド化合物と(c)露光波長に吸収があり、露光波長より長波長側で発光する化合物を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/039 501 , C08L 79/08 , C09D179/08 , G03F 7/022

FI (4件)：

G03F 7/039 501 , C08L 79/08 A , C09D179/08 A , G03F 7/022

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平4-303840
感光性ポリイミド前駆体組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-111667 出願人：東レ株式会社
半導体素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-273192 出願人：東レ株式会社

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