熱処理炉

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：絹谷信雄 , 金坂憲幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-021231
公開番号（公開出願番号）：特開2009-180462
出願日： 2008年01月31日
公開日（公表日）： 2009年08月13日
要約：

【課題】抵抗発熱体の熱膨張収縮に伴う径方向の移動を許容しつつ抵抗発熱体が重力で下方に移動するのを防止し、抵抗発熱体の耐久性の向上を図る。【解決手段】被処理体wを収容して熱処理するための処理容器3を囲繞する筒状の断熱材4と、該断熱材4の内周面に沿って配置される螺旋状の抵抗発熱体5と、断熱材4の内周面に軸方向に所定のピッチで設けられ、抵抗発熱体5を径方向に熱膨張収縮可能に支持する支持体13と、抵抗発熱体5の外側に軸方向に適宜間隔で配置され断熱材4を径方向に貫通して外部に延出された複数の端子板14と、抵抗発熱体5に所定のターンごとに設けられ、上記支持体13の一側面に当接して抵抗発熱体5の下方への移動を阻止する移動阻止部材15とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被処理体を収容して熱処理するための処理容器を囲繞する筒状の断熱材と、該断熱材の内周面に沿って配置される螺旋状の抵抗発熱体と、断熱材の内周面に軸方向に所定のピッチで設けられ、抵抗発熱体を径方向に熱膨張収縮可能に支持する支持体と、抵抗発熱体の外側に軸方向に適宜間隔で配置され断熱材を径方向に貫通して外部に延出された複数の端子板と、抵抗発熱体に所定のターンごとに設けられ、上記支持体の一側面に当接して抵抗発熱体の下方への移動を阻止する移動阻止部材とを備えたことを特徴とする熱処理炉。

IPC (4件)：

F27D 11/02 , F27B 17/00 , H05B 3/06 , H05B 3/66

FI (5件)：

F27D11/02 A , F27D11/02 B , F27B17/00 D , H05B3/06 C , H05B3/66

Fターム (13件)：

3K092PP09 , 3K092QA04 , 3K092QB27 , 3K092TT16 , 3K092VV26 , 4K063AA05 , 4K063AA12 , 4K063BA12 , 4K063CA05 , 4K063DA33 , 4K063DA34 , 4K063FA08 , 4K063FA18

引用特許：

出願人引用 (5件)

熱処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-049774 出願人：東京エレクトロン株式会社
熱処理炉及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-300298 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社, ニチアス株式会社
加熱装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-324115 出願人：国際電気株式会社

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審査官引用 (5件)

熱処理炉及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-300298 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン東北株式会社, ニチアス株式会社
熱処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-049774 出願人：東京エレクトロン株式会社
加熱装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-324115 出願人：国際電気株式会社

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