特許
J-GLOBAL ID：200903022235408472

三原色着色層についての膜厚検査装置

発明者：
秦 直己

秦 直己 について

, 
岡沢 敦司

岡沢 敦司 について

, 
添田 正彦

添田 正彦 について


出願人/特許権者：
大日本印刷株式会社

大日本印刷株式会社 について


代理人 (1件)： 志村 浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-357349
公開番号（公開出願番号）：特開2005-121500
出願日： 2003年10月17日
公開日（公表日）： 2005年05月12日
要約：
【課題】 大型の検査対象物について、三原色の各着色層についての膜厚検査を低コストで行う。【解決手段】 着色層を有する検査対象基板10を、搬送装置50によってX軸方向に搬送しながら、ラインセンサカメラ30によって線状視野領域Fを撮像する。連続的に得られた一次元画像を、画像処理装置60によって合成することにより、検査対象基板10上面の二次元画像を得る。光源20として、直管式の3波長形蛍光ランプを用い、短波長域カット用フィルタ21を通して線状視野領域Fに照明光を照射し、着色層の上下両面からの反射光を、バンドパスフィルタ40を通してラインセンサカメラ30に取り込むことにより、撮像画像上に膜厚に応じた干渉縞パターンが現れるようにする。バンドパスフィルタ40として、赤/緑/青の3種類のフィルタを交換して用いることにより、赤/緑/青の三原色の各着色層についての膜厚検査を行う。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
三原色着色層についての膜厚の均一性を検査する装置であって、 XY二次元座標系を定義したときに、着色層を有する検査対象基板を、その主面がXY平面に平行になるようにX軸方向に搬送する搬送装置と、 Y軸に平行な方向に複数の受光素子を配列することにより構成され、前記搬送装置によって搬送されてきた検査対象基板上の線状視野領域を斜め上方から撮像することができるように配置されたラインセンサと、 少なくとも前記線状視野領域を、斜め上方から照明することができるように、長手方向がY軸に平行となるように配置された直管式の3波長形蛍光ランプと、 前記線状視野領域と前記ラインセンサとの間に配置され、検査対象となる着色層の透過スペクトル領域内の所定範囲の光を選択的に透過させるバンドパスフィルタと、 前記ラインセンサによって撮像された複数の一次元画像を合成して、検査対象基板上の着色層の膜厚分布を示す二次元画像を作成する画像処理装置と、 を備えることを特徴とする三原色着色層についての膜厚検査装置。
IPC (3件)：
G01B11/06 ,  G01B11/30 ,  G01M11/00
FI (3件)：
G01B11/06 G ,  G01B11/30 101A ,  G01M11/00 T
Fターム (22件)：
2F065AA30 ,  2F065AA47 ,  2F065AA61 ,  2F065BB01 ,  2F065CC31 ,  2F065FF51 ,  2F065GG03 ,  2F065GG16 ,  2F065GG23 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL22 ,  2F065LL26 ,  2F065MM03 ,  2F065QQ33 ,  2F065QQ34 ,  2F065SS13 ,  2F065UU01 ,  2G086EE05 ,  2G086EE10
引用特許：
出願人引用 (6件)
全件表示
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM