離型フイルム

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡田数彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-099328
公開番号（公開出願番号）：特開平9-262938
出願日： 1996年03月28日
公開日（公表日）： 1997年10月07日
要約：

【要約】【課題】イオン性不純物の含有量が少なく、従って、特に半導体装置製造時に使用する粘着テープ用に適した離型フイルムを提供する。【解決手段】ゲルマニウム元素を10〜200ppm及び平均粒径0.001〜5μmの二酸化珪素粒子を0.01〜2重量%含有し且つ他の金属成分を実質的に含有しないポリエステルフイルムの少なくとも片面にフッ素含有硬化性シリコーン樹脂を主成分とする離型層を設ける。

請求項（抜粋）：

ゲルマニウム元素を10〜200ppm及び平均粒径0.001〜5μmの二酸化珪素粒子を0.01〜2重量%含有し且つ他の金属成分を実質的に含有しないポリエステルフイルムの少なくとも片面にフッ素含有硬化性シリコーン樹脂を主成分とする離型層を設けたことを特徴とする離型フイルム。

IPC (10件)：

B32B 27/00 , B32B 27/00 101 , B32B 27/36 , C08G 63/86 NMY , C08K 3/34 , C08L 67/02 KJS , C09J 7/02 JHR , C09J 7/02 JKV , C09J 7/02 JKY , C09J 7/02 JLE

FI (10件)：

B32B 27/00 L , B32B 27/00 101 , B32B 27/36 , C08G 63/86 NMY , C08K 3/34 , C08L 67/02 KJS , C09J 7/02 JHR , C09J 7/02 JKV , C09J 7/02 JKY , C09J 7/02 JLE

引用特許：

審査官引用 (11件)

離型フイルム
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-334953 出願人：帝人株式会社
離型フイルム
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-201461 出願人：帝人株式会社
特公昭52-040918

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