特許
J-GLOBAL ID：200903022340491601

感光液組成物およびその用途

発明者：
田中 淳介

田中 淳介 について

, 
小野 一良

小野 一良 について


出願人/特許権者：
三井化学株式会社

三井化学株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-329516
公開番号（公開出願番号）：特開2000-155416
出願日： 1998年11月19日
公開日（公表日）： 2000年06月06日
要約：
【要約】【課題】 浸漬法による塗布性が良好な感光液組成物であり、高密度で微細な回路パターンを形成する際に必要なエッチングレジストまたはメッキレジスト用皮膜として好適な感光液組成物を提供する。【解決手段】 (A)カルボキシル基を有し、ガラス転移温度が60°C〜150°Cの飽和高分子と、(B)光重合成不飽和化合物と、(C)光開始剤とからなる感光性樹脂組成物を有機溶剤で溶解して得られる感光液組成物。同感光液組成物は15〜30°Cの温度における粘度が0.01〜0.2Pa.sであり、同感光性組成物を成膜したときの軟化温度が40°C以上であり、沸点100°C以下の有機溶剤を50重量%以上を含有する。
請求項（抜粋）：
(A)カルボキシル基を有し、ガラス転移温度が60°C〜150°Cの飽和高分子と、(B)光重合性不飽和化合物とおよび、(C)光開始剤とからなる感光性樹脂組成物を有機溶剤で溶解してなり、15〜30°Cの温度における粘度が0.01〜0.2Pa.sであり、成膜したときの軟化温度が40°C以上であり、沸点100°C以下の該有機溶剤を50重量%以上を含有することを特徴とする感光液組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/033 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/40 521 ,  H05K 3/06
FI (5件)：
G03F 7/033 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/40 521 ,  H05K 3/06 H
Fターム (28件)：
2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC42 ,  2H025CA01 ,  2H025CA27 ,  2H025CA30 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB43 ,  2H025CB60 ,  2H025CC03 ,  2H025EA04 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H096AA26 ,  2H096BA05 ,  2H096GA08 ,  2H096HA13 ,  2H096HA27 ,  5E339BE13 ,  5E339CC01 ,  5E339CD01 ,  5E339CE12 ,  5E339CE19 ,  5E339CF16 ,  5E339CF17
引用特許：
審査官引用 (6件)
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