干渉計及び復調器

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：志賀正武 , 高橋詔男 , 渡邊隆 , 青山正和 , 鈴木三義 , 西和哉 , 村山靖彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-060497
公開番号（公開出願番号）：特開2008-224313
出願日： 2007年03月09日
公開日（公表日）： 2008年09月25日
要約：

【課題】分岐素子の不完全性により生ずる偏光依存性(PDFS)を低減することができる干渉計、及び当該干渉計を備える復調器を提供する。【解決手段】干渉計1は、入射光L0を複数の分岐光L1,L2に分岐するハーフミラー12を備えており、ハーフミラー12で分岐された分岐光L1,L2を干渉させるものである。この干渉計1は、分岐光L1,L2の光路上に配置され、入射光L0をハーフミラー12で分岐する際に生ずる分岐光L1,L2間の位相差を補償する位相板13,15を備える。尚、位相板は、分岐光L1,L2の双方に光路上に必ず配置しなければならないという訳ではなく分岐光L1,L2のうちの少なくとも1つの分岐光の光路上に配置されていれば良い。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

入射光を複数の分岐光に分岐する分岐素子を備え、当該分岐素子で分岐された分岐光を干渉させる干渉計において、前記複数の分岐光のうちの少なくとも1つの分岐光の光路上に配置され、前記入射光を前記分岐素子で分岐する際に生ずる前記分岐光間の位相差を補償する位相補償器を備えることを特徴とする干渉計。

IPC (2件)：

G01B 9/02 , G01J 9/02

FI (2件)：

G01B9/02 , G01J9/02

Fターム (14件)：

2F064AA15 , 2F064DD08 , 2F064EE01 , 2F064EE04 , 2F064GG02 , 2F064GG12 , 2F064GG13 , 2F064GG16 , 2F064GG22 , 2F064GG31 , 2F064GG40 , 2F064GG44 , 2F064GG51 , 2F064GG68

引用特許：

出願人引用 (1件)

光通信の改良または光通信に関連した改良
公報種別：公表公報出願番号：特願2002-552220 出願人：ブッカム・テクノロジー・ピーエルシー

審査官引用 (10件)

光ヘテロダイン干渉計装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-137516 出願人：キヤノン株式会社
表面検査装置および表面検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-143318 出願人：株式会社ニコン
特開昭63-249006

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