特許
J-GLOBAL ID：200903022508908805

静電チャック

発明者：
三上 一彦

三上 一彦 について

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会田 比呂史

会田 比呂史 について

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伊東 裕見子

伊東 裕見子 について


出願人/特許権者：
京セラ株式会社

京セラ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-329336
公開番号（公開出願番号）：特開平11-163112
出願日： 1997年11月28日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：
【要約】【課題】200°C以下の温度雰囲気下においてジョンソン・ラーベック力による高い吸着力が得られるようにするとともに、被固定物Wへのプラズマ密度を高め、成膜やエッチングの処理速度を高めることができる静電チャック1を提供する。【解決手段】静電チャック1のウエハを静電吸着力により吸着保持する当接面3を、誘電率13以上を有するとともに、200°C以下の温度域における体積固有抵抗値が109 Ω・cm以上1012Ω・cm未満の範囲にある窒化アルミニウム質焼結体により形成する。
請求項（抜粋）：
被固定物を静電吸着力により吸着保持する当接面が、誘電率13以上を有するとともに、200°C以下の温度域における体積固有抵抗値が109Ω・cm以上1012Ω・cm未満の範囲にある窒化アルミニウム質焼結体からなる静電チャック。
IPC (3件)：
H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  C04B 35/581
FI (3件)：
H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  C04B 35/58 104 Y
引用特許：
審査官引用 (5件)
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