特許
J-GLOBAL ID：200903087745399863
エネルギー負荷を減らした照明システム
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-041364
公開番号（公開出願番号）：特開2002-328304
出願日： 2002年02月19日
公開日（公表日）： 2002年11月15日
要約：
【要約】【課題】 対物レンズの内部におけるレンズのエネルギー負荷が低減される照明システムを提供する。【解決手段】 この照明システム(1)は、ロッド型インテグレータ(3)と、後続する対物レンズ(11)とを含んでいる。ロッド型インテグレータ(3)は、入射面(5)、射出面(7)、反射をする側面(9)を有している。対物レンズ(11)には、軸方向の厚さ(dLF)が少なくとも30mmであるレンズのない中間スペース(17)がある。この中間スペースの内部には、入射面(5)の平面に対して光学的に共役である平面がある。ロッド型インテグレータ(3)の入射面(5)の内部で中央のフィールド(19)から射出され、側面(9)で反射されないすべてのビーム(21)は、レンズのない中間スペース(17)で、同じ中央のフィールド(19)から射出されて側面(9)で反射されるすべてのビーム(23)よりも、光学軸(OA)に対して低いビーム高さを有している。
請求項（抜粋）：
光学軸(OA)を有する、特にマイクロリソグラフィ投影露光設備のための照明システムであって、入射面(5,205,705,805)と射出面(7,207)を有しているロッド型インテグレータ(3,203,703,803)と、光方向で見てロッド型インテグレータ(3,203,703,803)の後に配置されていて、物体フィールド(13,213,713)を画像フィールド(15,215,715)に結像するための対物レンズ(11.211,711,811)とを含んでいる形式の照明システムにおいて、対物レンズ(11.211,711,811)中にレンズのない中間スペース(17,217,717,817)があり、そのレンズのない中間スペース(17,217,717,817)の内部に、インテグレータの入射面(5,205,705,805)の平面に対して光学的に共役な平面(333,733)があり、レンズのない中間スペース(17,217,717,817)は、光学軸(OA)に沿って少なくとも30mm、特に少なくとも50mmの軸方向の厚さ(dLF)を有していることを特徴とする照明システム。
IPC (8件)：
G02B 19/00
, G02B 13/18
, G02B 13/22
, G02B 13/24
, G03F 7/20 501
, G03F 7/20 502
, G03F 7/20 521
, H01L 21/027
G02B 19/00
, G02B 13/18
, G02B 13/22
, G02B 13/24
, G03F 7/20 501
, G03F 7/20 502
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 515 D
2H052BA02
, 2H052BA07
, 2H052BA09
, 2H052BA12
, 2H087KA21
, 2H087KA29
, 2H087NA02
, 2H087PA09
, 2H087PA11
, 2H087PA17
, 2H087PB09
, 2H087PB11
, 2H087QA03
, 2H087QA17
, 2H087QA21
, 2H087QA25
, 2H087QA37
, 2H087QA41
, 2H087QA45
, 2H087RA05
, 2H087RA12
, 2H087RA13
, 2H087RA32
, 2H087UA03
, 2H087UA04
, 2H097AA03
, 2H097CA13
, 2H097LA10
, 2H097LA20
, 5F046BA03
, 5F046CB13
, 5F046CB25
