分光器を用いた調和検出によって真空内の分子種を高感度に検出する方法及びそのシステム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-267343
公開番号（公開出願番号）：特開平9-222394
出願日： 1996年10月08日
公開日（公表日）： 1997年08月26日
要約：

【要約】【課題】調和(調波)検出に基づくスペクトル分光によってサンプルの気相分子種を高精度に検出する方法及びシステムを提供する。【解決手段】システム200は、気体サンプル内の分子種を直接検出可能な吸収スペクトル分光セル201を備えており、セルは、壁体203によって限定されたサンプル領域202を有する。壁体には、サンプル領域に対面した光透過窓206が配置された光出入口205が設けられている。セルの中に光ビーム209を反射させるように、セルには、光反射面207が設けられている。システムには、光源208と光透過窓を介してセルから射出した光ビーム209を測定するための検出器210とが設けられている。光源及び検出器は、チャンバ211に収容されている。チャンバには、導入管路212と排出管路213が接続されており、排出管路には、気体流制限器214が設けられている。

請求項（抜粋）：

調和検出に基づくスペクトル分光によりサンプルの気相分子種を検出する方法であって、この方法は、少なくとも1つの壁体によって限定されたサンプル領域を有し且つ大気圧又はそれ以下の圧力で作動するセルを規定する工程を有しており、前記セルは、その中に少なくとも1つの光出入口を備え、この光出入口には、前記サンプル領域に対向する面を有し且つ前記セルを閉鎖するように周囲方向に配置された光透過窓が設けられており、サンプル気体は、前記サンプル領域を介してセル中心軸に沿って平行に流れるようになっており、また、前記方法は、少なくとも1つの前記光透過窓を介して前記セルに光ビームを導くための周波数変調光源又は波長変調光源を規定する工程を有しており、前記光源の変調振幅は、前記サンプル領域内の検出済み気相分子種に対応した吸収特性の中心での調和信号の値を略最大化する値に調整され、また、前記方法は、前記吸収特性の中心に固定されるように又はこの特性を包含した周波数帯域に亘って反復走査されるように、前記光源の中心周波数を調整して、個々に記録可能な又は平均化可能なスペクトルを発生させる工程と、少なくとも1つの前記光透過窓を介して前記セルから射出した前記光ビームを測定するための検出器を規定する工程とを有しており、前記検出器及び前記光源は、前記セルの外側に配置され且つ前記サンプル領域から分離したチャンバに収容されており、前記チャンバと前記サンプル領域とは、少なくとも1つの前記光透過窓を介して互いに光通信されるように配置され、且つ、前記チャンバ内の圧力は、大気圧よりも高い圧力値に制御されていることを特徴とする方法。

引用特許：

審査官引用 (6件)

ガス濃度測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-269119 出願人：東京瓦斯株式会社
特表平3-505782
特開昭62-232535

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