特許
J-GLOBAL ID：200903022684769617

圧電素子、液体噴射ヘッド、およびプリンタ

発明者：
宮澤 弘

宮澤 弘 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (2件)： 布施 行夫 ,  大渕 美千栄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-048974
公開番号（公開出願番号）：特開2008-211140
出願日： 2007年02月28日
公開日（公表日）： 2008年09月11日
要約：
【課題】初期変位量の向上と耐久性の向上の両立を図ることができる圧電素子を提供する。【解決手段】本発明に係る圧電素子100は,基体1と、基体の上方に形成された下部電極4と、下部電極の上方に形成され、一般式ABO3で示され、Aは、鉛(Pb)を含み、Bは、ジルコニウム(Zr)およびチタン(Ti)を含むペロブスカイト型酸化物からなる圧電体層6と、圧電体層の上方に形成された上部電極7と、を含み、圧電体層は,ZrおよびTiに対するZrの組成の異なる領域61,62を少なくとも2つ有する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基体と、 前記基体の上方に形成された下部電極と、 前記下部電極の上方に形成され、一般式ABO3で示され、該Aは、鉛(Pb)を含み、該Bは、ジルコニウム(Zr)およびチタン(Ti)を含むペロブスカイト型酸化物からなる圧電体層と、 前記圧電体層の上方に形成された上部電極と、を含み、 前記圧電体層は、ZrおよびTiに対するZrの組成の異なる領域を少なくとも2つ有する、圧電素子。
IPC (7件)：
H01L 41/09 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22
FI (6件)：
H01L41/08 J ,  B41J3/04 103A ,  B41J3/04 103H ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 Z
Fターム (7件)：
2C057AF65 ,  2C057AG12 ,  2C057AG44 ,  2C057AP14 ,  2C057AP57 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (3件)

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