圧電体膜、圧電素子、圧電アクチュエーター、圧電ポンプ、インクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンター、表面弾性波素子、薄膜圧電共振子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、および電子機器

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：布施行夫 , 大渕美千栄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-297852
公開番号（公開出願番号）：特開2006-114562
出願日： 2004年10月12日
公開日（公表日）： 2006年04月27日
要約：

【課題】良好な圧電特性を有する圧電体膜を提供する。【解決手段】本発明に係る圧電体膜は, ペロブスカイト型の圧電体膜であって、擬立方晶(100)に優先配向しており、モノクリニック構造(図のMで示される領域)を有し、分極軸方向は、擬立方晶<111>方向と,擬立方晶<100>方向との間である。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

ペロブスカイト型の圧電体膜であって、擬立方晶(100)に優先配向しており、モノクリニック構造を有し、分極軸方向は、擬立方晶<111>方向と、擬立方晶<100>方向との間である、圧電体膜。

IPC (13件)：

H01L 41/22 , B81B 3/00 , C04B 35/49 , C30B 29/32 , F04B 9/00 , H03B 5/30 , H03H 9/17 , H03H 9/25 , H01L 41/09 , H01L 41/187 , H01L 41/18 , B41J 2/045 , B41J 2/055

FI (14件)：

H01L41/22 Z , B81B3/00 , C04B35/49 A , C30B29/32 A , F04B9/00 B , H03B5/30 A , H03H9/17 F , H03H9/25 C , H01L41/08 C , H01L41/08 J , H01L41/08 L , H01L41/18 101D , H01L41/18 101Z , B41J3/04 103A

Fターム (42件)：

2C057AF51 , 2C057AF93 , 2C057AG44 , 2C057AP14 , 2C057BA04 , 2C057BA14 , 3H075AA07 , 3H075BB04 , 3H075CC25 , 3H075CC36 , 3H075DA05 , 3H075DB02 , 4G031AA11 , 4G031AA12 , 4G031AA32 , 4G031BA10 , 4G031CA01 , 4G031CA02 , 4G031CA08 , 4G077AA03 , 4G077AA07 , 4G077BC43 , 4G077CB02 , 4G077CB08 , 4G077EC07 , 4G077ED06 , 4G077EF01 , 4G077FE03 , 4G077FE19 , 4G077HA11 , 5J079AA08 , 5J079BA43 , 5J079HA06 , 5J079HA22 , 5J097AA28 , 5J097BB02 , 5J097BB11 , 5J097FF02 , 5J108BB05 , 5J108CC11 , 5J108CC13 , 5J108JJ04

引用特許：

出願人引用 (1件)

圧電体素子、インクジェット式記録ヘッド及びこれらの製造方法並びにインクジェットプリンタ
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-030472 出願人：セイコーエプソン株式会社

審査官引用 (6件)

圧電素子、インクジェットヘッドおよびそれらの製造方法、並びにインクジェット式記録装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-384317 出願人：松下電器産業株式会社
圧電素子及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-048951 出願人：オムロン株式会社
強誘電体素子、不揮発性強誘電体メモリ素子、インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法並びにインクジェットプリンタ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-253480 出願人：セイコーエプソン株式会社

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引用文献：

審査官引用 (2件)

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