特許
J-GLOBAL ID：200903022693421879

研磨装置

発明者：
小林 達也

小林 達也 について


出願人/特許権者：
オリンパス光学工業株式会社

オリンパス光学工業株式会社 について


代理人 (1件)： 奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-050678
公開番号（公開出願番号）：特開平11-245152
出願日： 1998年03月03日
公開日（公表日）： 1999年09月14日
要約：
【要約】【課題】 光学曲面の表面形状を高精度に仕上げ研磨するとともに、光学曲面の研磨加工の効率化を図る。【解決手段】 ワーク保持具10に取り付けたワーク1の光学曲面1aを研磨する研磨装置にあって、ワーク1の光学曲面1aを回転しながら加工するポリシャ21を先端に備えた研磨ヘッド20と、研磨ヘッド20を配設してポリシャ21を光学曲面1aの法線方向に押圧するスライダ18aと、ポリシャ21を回転させるモータ28と、スライダ18aに配設した研磨ヘッド20に備えたポリシャ21をワーク1の光学曲面1aに対して当接または離反するように移動させるZ軸機構部12と、研磨ヘッド20に取り付けられて研磨ヘッド20とともに移動する非接触変位計とを備える。そして、光学曲面1aにポリシャ21が当接している状態で、光学曲面1aと非接触変位計との距離を測定しつつ所望の光学曲面の形状に研磨する。
請求項（抜粋）：
ワーク保持具に取り付けられた被加工物の光学曲面を研磨する研磨装置において、前記被加工物の光学曲面を回転しながら加工するポリシャを先端に備えた研磨ヘッドと、前記研磨ヘッドを配設して前記ポリシャを光学曲面の法線方向に押圧する押圧手段と、前記ポリシャを回転させる回転手段と、前記押圧手段に配設した研磨ヘッドに備えたポリシャを被加工物の光学曲面に対して当接または離反するように移動させる移動手段と、前記研磨ヘッドまたは研磨ヘッドを配設した押圧手段に取り付けられて研磨ヘッドとともに移動する非接触変位計と、を備え、光学曲面に前記ポリシャが当接している状態で、光学曲面と非接触変位計との距離を測定して光学曲面の形状を測定することを特徴とする研磨装置。
IPC (2件)：
B24B 13/04 ,  B24B 17/10
FI (2件)：
B24B 13/04 B ,  B24B 17/10 C
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (4件)
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