特許
J-GLOBAL ID:200903022705462908
物質検出素子
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
細田 益稔
, 青木 純雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-189398
公開番号(公開出願番号):特開2007-010397
出願日: 2005年06月29日
公開日(公表日): 2007年01月18日
要約:
【課題】振動子と支持基板とを一体化して液中の目的物質を検出るす素子において、素子ごとの測定値のバラツキを低減し、再現性を向上させることである。【解決手段】物質検出素子1は、平板状振動子2、平板状振動子2の第一の主面側2aに設けられ、液と接触して目的物質と相互作用させるための検出膜3A、平板振動子2を支持する支持基板8、および平板状振動子と2支持基板8とを接合する接合手段7を備えている。平板状振動子2の他方の第二の主面2bと支持基板8との間に、液から隔離される密閉空間9が形成されている。目的物質と検出膜3Aとの相互作用に基づく平板状振動子2の振動状態の変化に基づいて目的物質を検出する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
液中に浸漬して目的物質を検出するための物質検出素子であって、
平板状振動子、
前記平板状振動子の第一の主面側に設けられ、前記液と接触して前記目的物質と相互作用させるための検出膜、および
前記平板振動子を支持する支持基板を備えており、
前記平板状振動子と前記支持基板とが接合されており、前記平板状振動子の第二の主面と前記支持基板との間に、前記液から隔離される密閉空間が形成されており、前記目的物質と前記検出膜との相互作用に基づく前記平板状振動子の振動状態の変化に基づいて前記目的物質を検出することを特徴とする、物質検出素子。
IPC (1件):
FI (1件):
引用特許:
出願人引用 (3件)
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QCMセンサ
公報種別:再公表公報
出願番号:JP1998004948
出願人:株式会社明電舎, 小山昇
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QCMセンサデバイス
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-056745
出願人:北斗電工株式会社, 株式会社明電舎
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質量測定装置および方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-199214
出願人:日本碍子株式会社
審査官引用 (3件)
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