特許
J-GLOBAL ID：200903022726767326

静電気力を用いたハンドリング対象物のハンドリング装置

発明者：
樋口 俊郎

樋口 俊郎 について

, 
傅 寶▲莱▼

傅 寶▲莱▼ について


出願人/特許権者：
科学技術振興事業団

科学技術振興事業団 について


代理人 (1件)： 清水 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-225881
公開番号（公開出願番号）：特開2001-057789
出願日： 1999年08月10日
公開日（公表日）： 2001年02月27日
要約：
【要約】【課題】 ハンドリング対象物の表面に存在する残留電荷が起因する不安定浮上因子を無くし、高抵抗体や誘電体材料を安定浮上させ、ハンドリングできる静電気力を用いたハンドリング対象物のハンドリング装置を提供する。【解決手段】 高抵抗体や誘電体材料であるハンドリング対象物190の静電気力浮上ハンドリングの安定性を乱す残留静電気力の影響を無くすまたは小さくするために、電極面101とハンドリング対象物190間のギャップはターゲットギャップより小さい時に、ハンドリング対象物190を吸引浮上するために印加した電圧と極性の違う電圧を各電極要素117,118に印加する。この電圧はハンドリング対象物190の表面に存在する残留電荷と同じ極性を持つため、残留静電気力を瞬時に無くしたり最小にする、または、ハンドリング対象物190の表面抵抗によっては静電気反発力を起こす。
請求項（抜粋）：
静電気力を用いた高抵抗体や誘電体材料からなるハンドリング対象物のハンドリング装置において、(a)前記ハンドリング対象物に対向する上面に配置され、前記ハンドリング対象物を非接触で支持する静電気力を発生する電極を有する固定子と、(b)前記電極の面と前記ハンドリング対象物間のギャップをセンシングするセンサーと、(c)前記ハンドリング対象物の表面に存在する残留電荷を考慮した上で、前記センサーの出力に基づいて、電圧電源から供給される複数の電圧を選択的に電極に印加するとともに、前記ハンドリング対象物を静電気力で吸引浮上するために前記電極に電圧を印加することに付加して、前記ハンドリング対象物の浮上ギャップが浮上ターゲットギャップより小さくなった場合に作動する、前記ハンドリング対象物の過度の吸引浮上を抑制する抑制制御手段を具備することを特徴とする静電気力を用いたハンドリング対象物のハンドリング装置。
IPC (2件)：
H02N 13/00 ,  H01L 21/68
FI (2件)：
H02N 13/00 D ,  H01L 21/68 R
Fターム (4件)：
5F031GA09 ,  5F031GA32 ,  5F031GA61 ,  5F031PA21
引用特許：
審査官引用 (4件)
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