特許
J-GLOBAL ID：200903022837011328
液相堆積装置及び不純物除去方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-008657
公開番号（公開出願番号）：特開平10-204685
出願日： 1997年01月21日
公開日（公表日）： 1998年08月04日
要約：
【要約】【課題】 液相堆積のための電解液中の不純物を液相堆積条件に大きな影響を与えず、効率的に除去する。【解決手段】 電解液を保持する液相堆積槽の下部に不純物沈殿槽を有することを特徴とする液相堆積装置とする。また、液相堆積槽中の電解液の循環装置が濾過器を有することを特徴とする液相堆積装置とする。また、電解液を保持する液相堆積槽中に渦流発生手段を有することを特徴とする液相堆積装置とする。
請求項（抜粋）：
電解液を保持する液相堆積槽の下部に不純物沈殿槽を有することを特徴とする液相堆積装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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