特許
J-GLOBAL ID：200903022850063671
プローブ解析システムのブロードバンド設計
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-056657
公開番号（公開出願番号）：特開2002-340944
出願日： 2002年03月01日
公開日（公表日）： 2002年11月27日
要約：
【要約】【課題】 多くの基本周波数および高調波周波数が存在するサンプリングユニットが極めて複雑で高価になることを防ぐ。【解決手段】 本発明の無線周波数(RF)プローブ解析システムは、複数のアナログ信号に基づいてデジタル電力信号を生成するサンプリングユニットであって、該アナログ信号はRF電力送達システムからプラズマチャンバまで送達される電力を特徴づける、サンプリングユニットと、該デジタル電力信号に基づいてデジタルスペクトル信号を生成するためのデジタル処理ユニットとを備え、該サンプリングユニットは、該アナログ信号から第1の複数の周波数を同時にサンプリングし、それにより、該デジタルスペクトル信号が該第1の複数の周波数の信号レベルを規定する。
請求項（抜粋）：
複数のアナログ信号に基づいてデジタル電力信号を生成するサンプリングユニットであって、該アナログ信号はRF電力送達システムからプラズマチャンバまで送達される電力を特徴づける、サンプリングユニットと、該デジタル電力信号に基づいてデジタルスペクトル信号を生成するためのデジタル処理ユニットとを備え、該サンプリングユニットは、該アナログ信号から第1の複数の周波数を同時にサンプリングし、それにより、該デジタルスペクトル信号が該第1の複数の周波数の信号レベルを規定する、無線周波数(RF)プローブ解析システム。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 21/01 Z
, G01R 23/16 B
