特許
J-GLOBAL ID：200903022940975980
レチクル検査装置及びレチクル検査方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤巻 正憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-131981
公開番号（公開出願番号）：特開2004-333386
出願日： 2003年05月09日
公開日（公表日）： 2004年11月25日
要約：
【課題】精度が高く効率が良いレチクル検査装置及びこのレチクル検査装置を使用するレチクル検査方法を提供する。【解決手段】レチクルにおける2つの検査領域を通常検査モードで検査し、各1組の入力画像データを作成する(ステップS1)。次に、比較部が入力画像データ同士を比較・照合し、レチクルの各部位について欠陥らしいか否かを判定し、欠陥らしくないと判定された部位については非欠陥判定を下す(ステップS2)。次に、欠陥らしいと判断された部位のみを、高精細検査モードで検査する。このとき、画像入力部が同一部位を少しずつ位置をずらしながら3回撮像し、3組の入力画像データを生成する(ステップS3)。次に、合計4組の入力画像データを合成・補間して1組の高精細の補間後画像データを作成し、これに基づいて、欠陥らしいと判定された部位が欠陥であるか否かを判定する(ステップS4)。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
複数の画素を備えこの画素に対する相対的な位置が相互に異なるようにレチクルを複数回撮像して第1の画像データ及び1又は複数の第2の画像データを生成する画像入力部と、前記第1及び第2の画像データを合成して前記第1及び第2の画像データよりも精度が高い第3の画像データを生成する合成部と、前記レチクルの各部位について前記第1の画像データを前記レチクルの第1の基準データと比較して、前記第1の画像データが前記第1の基準データと実質的に一致する場合はその部位が欠陥でないと判定し、前記第1の画像データが前記第1の基準データと一致しない場合はその部位が欠陥である可能性があると判定すると共に、前記欠陥である可能性があると判定された部位について、前記第3の画像データを前記第1の基準データよりも精度が高い前記レチクルの第2の基準データと比較して、前記第3の画像データが前記第2の基準データと実質的に一致する場合はその部位が欠陥でないと判定し、前記第3の画像データが前記第2の基準データと一致しない場合はその部位が欠陥であると判定する判定部と、を有することを特徴とするレチクル検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N21/956 A
, G01B11/30 A
2F065AA49
, 2F065CC18
, 2F065FF05
, 2F065JJ03
, 2F065JJ19
, 2F065JJ26
, 2F065QQ25
, 2F065QQ27
, 2F065QQ39
, 2F065RR05
, 2G051AA56
, 2G051AB07
, 2G051AC02
, 2G051AC21
, 2G051EA12
, 2G051EA14
, 2G051EB01
, 2G051EB09
, 2G051ED13
